[发明专利]处理液喷出装置、判定装置、处理液喷出方法以及判定方法

权利要求书

1.一种处理液喷出装置，用以从喷嘴喷出处理液，并具有：

判定部，判定开闭阀的关闭速度，所述开闭阀用以将对所述喷嘴供给处理液的处理液供给流路予以开闭；以及

拍摄部，在所述开闭阀将所述处理液供给流路关闭且停止从所述喷嘴喷出处理液时，从与处理液的喷出方向不同的方向拍摄所述喷嘴的前端部的流路以及从所述喷嘴的前端沿着所述处理液的喷出方向朝前方延伸的所述处理液的喷出路径；

所述判定部依据所述拍摄部拍摄所述喷嘴的前端部的流路与所述喷出路径而得到的原始图像中的所述喷嘴的前端部的流路以及所述喷出路径的图像进行规定的判定处理，由此判定所述开闭阀的关闭速度是否适当或比适当的速度慢还是快的所述开闭阀的关闭速度的区分。

2.如权利要求1所记载的处理液喷出装置，其中，所述判定部具有：

特征量算出部，针对所述原始图像中的与所述喷嘴的前端部的流路对应的第一图像区域的第一图像以及与所述喷出路径对应的第二图像区域的第二图像各个图像，算出所述第一图像与所述第二图像各自的与所述处理液的图像的面积相应的规定的特征量；以及

规定基础判定部，将规定的判定规则应用于所述第一图像的所述特征量与所述第二图像的所述特征量，由此判定所述开闭阀的关闭速度的所述区分。

3.如权利要求2所记载的处理液喷出装置，其中，所述第一图像区域的在所述处理液的喷出方向的下游侧的端部从所述喷嘴的前端向所述处理液的喷出方向的上游侧离开。

4.如权利要求2或3所记载的处理液喷出装置，其中，所述判定规则为下述规则：当所述喷嘴的前端部的流路不为液密状态时，判定成所述开闭阀的关闭速度过快；当所述喷嘴的前端部的流路为液密状态且在所述喷出路径存在有所述处理液时，判定成所述开闭阀的关闭速度过慢。

5.如权利要求1所记载的处理液喷出装置，其中，所述判定部具有分类器，并通过所述分类器判定所述开闭阀的关闭速度的区分，所述分类器用以依据所述原始图像中的所述喷嘴的前端部的流路以及所述喷出路径的图像，判定所述开闭阀的关闭速度是否适当或比适当的速度慢还是快的所述开闭阀的关闭速度的区分；

所述分类器使用所述原始图像中的所述喷嘴的前端部的流路以及所述喷出路径的图像的采样图像并预先通过机器学习而生成。

6.如权利要求5所记载的处理液喷出装置，其中，所述分类器依据所述原始图像中的与所述喷嘴的前端部的流路对应的第一图像区域的第一图像以及与所述喷出路径对应的第二图像区域的第二图像各个图像，判定所述开闭阀的关闭速度的所述区分；

所述分类器使用所述第一图像与所述第二图像各自的采样图像并预先通过机器学习而生成。

7.如权利要求6所记载的处理液喷出装置，其中，所述第一图像区域的在所述处理液的喷出方向的下游侧的端部从所述喷嘴的前端向所述处理液的喷出方向的上游侧离开。

8.如权利要求1至7中任一项所记载的处理液喷出装置，其中，所述拍摄部在所述开闭阀将所述处理液供给流路关闭并停止从所述喷嘴喷出处理液后，按时间依序拍摄所述喷嘴的前端部的流路与从所述喷嘴的前端沿着处理液的喷出方向朝前方延伸的所述处理液的喷出路径；

所述处理液喷出装置进一步具有：图像生成部，依据所述拍摄部拍摄所述喷嘴的前端部的流路与所述喷出路径而得到的时序图像，生成所述喷嘴的前端部的流路以及所述喷出路径的派生图像；

所述判定部依据所述图像生成部所生成的所述派生图像，判定所述开闭阀的关闭速度的区分。

9.如权利要求1至8中任一项所记载的处理液喷出装置，其中，进一步具有：

配管，连接处理液供给源与所述喷嘴，并将所述处理液供给源所供给的处理液导引至所述喷嘴；以及

驱动机构，使所述开闭阀进行开闭动作；

所述开闭阀设置于所述配管的路径中途；

所述处理液喷出装置进一步具有：关闭速度调整部，依据所述判定部所判定的所述开闭阀的关闭速度的区分，以所述关闭速度变成适当的速度的方式调整所述驱动机构的动作。