[发明专利]废气处理方法及装置

说明书

在发明的一方式的废气处理装置(10)中，作为吸引风机(12)来使用具有回流功能(定压功能)的风机，在作为吸附塔(11a、11b)的出口管路的大气排放管路(23)和吸引风机(12)的入口侧(12a)之间设置具有废气旁通阀(43)的废气旁通管路(42)，并进行控制而使吸引鼓风机的入口侧(12a)的压力成为预定的规定值，该压力超过了预定的规定值时，使废气旁通阀(43)变为打开状态而使吸引风机(12)的入口侧(12a)直接与大气排放管路(23)连接。根据本发明的一方式的废气处理装置，能够提供一种将废气处理装置编入于制造设备时使制造设备的废气管路的背压自动成为规定值以下而使得制造设备不易受损且安全性优异的废气处理方法及装置。

技术领域

本发明涉及加强了安全性的废气处理方法及装置，尤其涉及能够对排放到大气中的含有挥发性碳氢化合物(以下，存在称之为“VOC”的情况)等的挥发性成分的废气进行净化，有效地分离挥发性成分而再利用的同时，加强了安全性的废气处理方法及装置。

背景技术

以往，提出有许多对含有VOC等的挥发性成分的大量的废气进行处理的废气处理装置。这些废气处理装置的开发目的在于，将废气中的向大气排放的VOC等的排放浓度及排放量降到基准值以下，以使在防止公害(环境污染)的基础上，满足法律规定的VOC等的排放浓度的限制值。作为去除这种大量的废气中的VOC等的挥发性成分的方法，因温室气体(二氧化碳)的排放限制的强化而难以使用燃烧法，因此大多采用交替重复吸附及解吸(脱吸)的吸附法。

例如，如图6所示，专利文献1(日本特开2004-042013号公报)公开了去除混杂在废气中的VOC而达成零排放(Zero emissions)，并分离、回收废气中的VOC的废气处理装置100。该废气处理装置100使用填充有用挥发性碳氢化合物预涂(Pre-coated)而成的中孔(mesopore)活性炭(MPC)的吸附塔101a、101b，并将吸附、解吸的切换时间设定为1～30分钟。吸附时，将从废气供给管路102供给的废气导入到吸附塔101a或者101b内来吸附去除VOC，去除了VOC的干净的废气从废气管路103a或者103b排放到大气中。

此外，解吸时，组合使用真空泵104和来自吹扫管路105的吹扫气体(空气)，使所得到的吹扫废气经过气液分离器106，在经过回收管路107而回收所液化的VOC的同时，使未冷凝的VOC经过返回管路108而返回到吸附塔101a、101b的入口的废气中。在该废气处理装置100中，MPC几乎不吸附废气中的水分，因此废气中的水分原样在排放气体中穿过，由此，存在解吸时真空泵所需的真空排气容量可以较小这一优点。

此外，专利文献2(日本特开2008-068205号公报)公开了一种实质上在专利文献1公开的废气处理装置的前段设置了预处理装置的废气处理装置，所述预处理装置预先用废气中所包含的水分乃至挥发性碳氢化合物饱和而避开爆炸极限值之后进行加压，从而使废气中所含有的挥发性碳氢化合物浓缩数倍。根据该废气处理装置，能够使后段的吸附、解吸装置显著小型化，尤其是在处理含有汽油蒸汽的废气的方面有用。

进而，专利文献3(日本特开2015-113336号公报)公开了作为吸附剂来使用疏水性的硅凝胶(silica gel)，通过吸附法来从含有气态氯乙烯单体的废气中回收氯乙烯单体，进而使用所回收的氯乙烯单体来制造氯乙烯聚合物的方法。根据该专利文献3所公开的发明，能够从氯乙烯聚合物的制造设备中所产生的废气中回收氯乙烯单体并作为氯乙烯聚合物的制造原料来再利用，因此经济性好。

(现有技术文献)

(专利文献)

专利文献1：日本特开2004-042013号公报

专利文献2：日本特开2008-068205号公报

专利文献3：日本特开2015-113336号公报

发明内容

(发明所要解决的问题)