[发明专利]用于制造消除装置的部件的方法

说明书

公开了一种用于制造消除装置的部件的方法。该方法包括：基于指定的部件特性，对限定消除装置的反应室的部件的3D模型表示进行网格划分，以限定所述部件的优化的有限元表示；以及制造优化的有限元表示。以此方式，可产生消除装置的部件的3D模型，可从所述3D模型对其性能进行建模。可限定部件的特定特性，其影响消除装置的操作。然后，这些特性可以用于通过使用网格划分来生成部件的具有这些特性的优化有限元表示（将理解的是，网格划分是将几何对象表示为有限元集合的操作）。然后可以制造优化的有限元表示，从而可靠地生产具有所需特性的部件。

技术领域

本发明涉及一种用于制造消除装置的部件的方法。

背景技术

用于执行消除的消除装置是已知的，并且通常用于处理来自例如半导体或平板显示器制造工业中使用的制造加工工具的排出气体流。在这种制造期间，残余全氟化合物（PFC）和其它化合物存在于从加工工具中泵送出的排出气体流中。PFC难以从排出气体中除去，并且它们到环境中的释放是不期望的，因为已知它们具有相对高的温室活性。

已知的消除装置使用热量从排出气体流中除去PFC和其它化合物。通常，排出气体流是含有PFC和其它化合物的氮气流。感应加热器、等离子体或燃烧用来产生热量以处理排出物流。例如，在燃烧装置中，燃料气体与排出气体流混合，并且该气体流混合物被输送到由多孔气体燃烧器的出口表面侧向地包围的燃烧室中。燃料气体和空气同时被供应至多孔燃烧器以影响在出口表面处的无焰燃烧，其中穿过多孔燃烧器的空气量寻求足以不仅消耗供应至燃烧器的燃料气体，而且消耗注入燃烧室中的气体流混合物中的所有可燃物。

尽管消除装置有助于处理排出物流，但制造消除装置可能是有问题的。因此，期望提供一种用于制造消除装置的改进技术。

发明内容

根据第一方面，提供了一种方法，包括：基于指定的部件特性，对限定消除装置的反应室的部件的3D模型表示进行网格划分，以限定所述部件的优化的有限元表示；以及制造优化的有限元表示。

第一方面认识到，用于制造消除装置的部件的现有技术的问题在于，它们是复杂的，并且消除装置的操作难以限定。因此，提供了一种方法。该方法可用于制造消除装置或其部件。该方法可包括以下步骤：对部件的三维（3D）模型表示或限定进行网格划分；该3D模型限定该消除装置的反应室。网格划分可以基于部件的指定或限定的特性，或者响应于部件的指定或限定的特性而执行。网格划分可以基于指定的部件特性来限定或产生部件的优化的有限元或单元表示。也就是说，3D模型表示的网格划分不仅可产生部件的有限元表示，而且可以基于该部件所需的特性来优化有限元表示本身。该方法可以包括由优化的有限元表示来制造部件的步骤。以此方式，可产生消除装置的部件的3D模型，可从所述3D模型对其性能进行建模。可限定部件的特定特性，其影响消除装置的操作。然后，这些特性可以用于生成部件的优化有限元表示，所述优化有限元表示通过使用网格划分而具有这些特性（将理解的是，网格划分是将几何对象表示为有限元集合的操作）。然后可以制造优化的有限元表示，从而可靠地生产具有所需特性的部件。

在一个实施例中，网格划分包括利用至少一个有限元进行网格划分。因此，3D模型表示可以利用一个或多个有限元来进行网格划分。

在一个实施例中，网格划分包括利用多个有限元进行网格划分。因此，3D模型表示可以利用多于一个的有限元来进行网格划分。

在一个实施例中，网格划分包括拟合有限元以填充3D模型表示。因此，有限元可被拟合以填充、映射到或覆盖3D模型表示。

在一个实施例中，拟合包括基于末端约束拟合有限元以填充3D模型表示。因此，有限元可以被拟合以填充、映射到或覆盖3D模型表示，经受关于有限元拟合地多好的约束。

在一个实施例中，末端约束包括防止有限元突出超过3D模型表示的表面。因此，末端约束可以防止有限元突出或延伸超过或越过3D模型表示的表面或边界。