[发明专利]流量控制方法以及流量控制装置

权利要求书

1.一种流量控制方法，其特征在于，

使用流量控制装置，并在将流量从流量零上升到第一流量时进行，所述流量控制装置具备：

第一控制阀，所述第一控制阀设置于流路；

第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述第一控制阀的下游侧；和

压力传感器，所述压力传感器对所述第一控制阀的下游侧且所述第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定，

所述流量控制方法包含：

步骤(a)，所述步骤(a)是在将所述第二控制阀关闭的状态下，基于所述压力传感器的输出求出在所述第一控制阀的下游残留的压力；和

步骤(b)，所述步骤(b)是通过基于所述压力传感器的输出调整所述第二控制阀的开度，对在所述第一控制阀下游残留的压力进行控制，在所述第二控制阀的下游侧以所述第一流量流动流体。

2.根据权利要求1所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤(a)中，在将所述第一控制阀和所述第二控制阀的双方关闭的状态下求出所述残留的压力。

3.根据权利要求2所述的流量控制方法，其特征在于，还包含如下步骤：

在所述步骤(a)中，在基于所述压力传感器的输出求出的压力比相当于所述第一流量的压力低的情况下，到在所述第一控制阀的下游残留的压力变得比相当于所述第一流量的压力高为止打开所述第一控制阀，在超过相当于所述第一流量的压力的时间点关闭所述第一控制阀。

4.根据权利要求1所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤(a)中，所述第一控制阀形成为比基于所述压力传感器的输出将所述第一控制阀的开度控制为所述第一流量时的开度小的开度，当基于所述压力传感器的输出求出的压力为阈值以上时，打开所述第二控制阀而进行所述步骤(b)。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的流量控制方法，其特征在于，

在所述步骤(b)中，在将α设为比例常数，将ΔP1/Δt设为所述压力传感器输出的上游压力的变化ΔP1与所述上游压力的变化ΔP1所需要的时间Δt之比即压力变化率，将V设为所述第一控制阀与所述第二控制阀之间的内容积时，

以由Q＝α·(ΔP1/Δt)·V表示的减量流量Q与所述第一流量一致的方式，基于所述压力传感器输出的信号，对所述第二控制阀的开度进行控制。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的流量控制方法，其特征在于，还包含步骤(c)，所述步骤(c)是在进行了所述步骤(b)之后，在所述压力传感器的输出降低到规定值的时间点，基于所述压力传感器的输出对所述第一控制阀的开度进行控制而以所述第一流量在下游流动流体。

7.一种流量控制装置，其特征在于，具备：

第一控制阀，所述第一控制阀设置于流路；

第二控制阀，所述第二控制阀设置于所述第一控制阀的下游侧；

压力传感器，所述压力传感器对所述第一控制阀的下游侧且所述第二控制阀的上游侧的流体压力进行测定；和

控制电路，所述控制电路对所述第一控制阀以及所述第二控制阀的动作进行控制，并且构成为：通过基于所述压力传感器输出的信号对所述第一控制阀以及第二控制阀进行控制，从而对流量进行控制，在将流量从流量零上升至第一流量时，

所述控制电路执行：

步骤(a)，所述步骤(a)是在将所述第二控制阀关闭的状态下，基于所述压力传感器的输出求出在第一控制阀的下游残留的压力；和

步骤(b)，所述步骤(b)是基于所述压力传感器的输出，通过调整所述第二控制阀的开度对在第一控制阀的下游残留的压力进行控制，并在所述第二控制阀的下游侧以第一流量流动流体。

8.根据权利要求7所述的流量控制装置，其特征在于，还具备：

设置在所述第二控制阀的下游侧的另外的压力传感器。