[发明专利]超纯水制造装置及超纯水制造方法

说明书

目的是提供一种在离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置。本发明的超纯水制造装置具备多个分支流路、多个离子交换装置、多个开闭阀及开度变更部。多个分支流路使被处理水的流路分支并在下游侧合流。多个离子交换装置分别设在多个分支流路上，分别具有离子交换树脂。多个开闭阀分别设在各个分支流路上的各个离子交换装置的前后。开度变更部将开闭阀的开度根据所设定的时间的经过而变更。

技术领域

本发明涉及超纯水制造装置及超纯水制造方法。

背景技术

以往，在半导体的制造工艺等中使用的超纯水是使用超纯水制造装置制造的。超纯水制造装置主要由例如原水中的悬浊物质除去而制造前处理水的前处理部、将前处理水中的总有机碳成分及离子成分使用反渗透膜装置及离子交换装置除去而制造一次纯水的一次纯水制造部、以及将一次纯水中的极微量的杂质除去而制造超纯水的二次纯水制造部构成(例如参照专利文献1)。作为原水，除了使用自来水、井水、地下水、工业用水等以外，还使用在作为超纯水的使用场所的使用点被回收的已使用的超纯水(回收水)等。

这里，二次纯水制造部除了紫外线氧化装置及超滤膜(ultrafiltrationmembrane)装置等以外，还具备安装有离子交换树脂的离子交换装置(离子抛光机，polisher)。离子交换装置相对于被处理水的流路并列地配置有例如4～5台装置。即，多台离子交换装置相对于使被处理水的流路暂且分支并在下游侧合流的多个分支流路分别设置。

可是，离子交换树脂伴随着随时间经过的性能的劣化，需要以例如1年左右的周期进行更换。在将离子交换树脂更换时，在将设在分支流路中的1台离子交换装置的前后的阀关闭后，将该离子交换装置的离子交换树脂更换。另外，在将1台离子交换装置的离子交换树脂更换的过程中，也一边使没有将离子交换树脂更换的其他多台离子交换装置工作，一边持续地进行超纯水的制造。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特许第5135654号公报

发明内容

发明要解决的课题

但是，在将离子交换树脂更换的过程中，在将上述的阀关闭时，在设有工作中的离子交换装置的分支流路中，随着流量的增加而压力损失增大，结果，在离子交换装置的下游侧的流路中，压力及流量较大地变动。以往以手动进行该操作，以手动操作离子交换树脂装置的上述的阀，一边观察在离子交换装置的下游侧的流路中压力及流量的变动、一边手动地操作入口侧泵的喷出阀，慎重地进行将离子交换装置下游侧的流路压力及流量保持为一定的操作。近年来，将变动的流量及压力通过与流量计及压力计的计测值对应的泵的供水量等进行控制，但在以往的阀的机构上，阀在例如3～5秒等的短时间中被急剧地关闭，所以成为上述的控制不能追随于迅速的流量及压力的变动之结果。

在被处理水或制造对象的超纯水的流路中的流量或压力较大地变动的情况下，因该变动的影响，例如从紫外线氧化装置或泵等的金属制的水流接触面，产生金属胶体等的微粒子。产生的金属胶体等的微粒子有其金属成分逐渐离子化而溶解到水中的情况。此时，由于溶解的金属离子，水中的残留离子量增大，所以导致制造的超纯水的水质的下降。

此外，在被处理水或制造对象的超纯水的流路中的流量或压力较大地变动的情况下，因该变动的影响，例如有由于稳定水流积存在紫外线氧化装置或泵等的构造上的积存部、配管或阀部件的积存部而微粒子等的使水质变差的物质流出的情况。此时，导致制造的超纯水的水质的下降。进而，例如也有通过制造的超纯水的供给压力变动而连接到使用场所(POU)的半导体制造设备等中的纯水的流量等变动、由此给成品率等带来影响的情况。

本发明是为了解决上述问题而做出的，目的是提供一种在设在超纯水制造装置中的离子交换树脂的更换时也能够持续地制造确保了希望的水质的超纯水的超纯水制造装置及超纯水制造方法。

用来解决课题的手段