[发明专利]工件的两面研磨装置及两面研磨方法

权利要求书

1.一种工件的两面研磨装置，其具备：载板，形成有保持供研磨的工件的1个以上的保持孔；以及一对上平台及下平台，夹着所述载板，所述工件的两面研磨装置的特征在于，还具备：

温度测量机构，测量所述载板的温度；以及

控制机构，控制所述工件的两面研磨，

所述控制机构决定下一批次中从用于决定两面研磨的结束时间点的基准时间点开始追加进行两面研磨的时间即补偿时间，在从所述基准时间点开始经过已决定的所述补偿时间后的时间点结束工件的两面研磨，所述基准时间点根据由所述温度测量机构所测量的所述载板的温度变化的振幅而决定，

所述补偿时间的决定根据从先前的批次中两面研磨的工件的形状指标的实绩值及批次间的补偿时间的差所预测的下一批次中要两面研磨的工件的形状指标的预测值来进行。

2.根据权利要求1所述的工件的两面研磨装置，其中，将所述预测值设为Y，将所述实绩值设为X₁，将所述补偿时间的差设为X₂，将A、B及C设为常数，所述预测值Y由下述式（1）获得，

Y=AX₁+BX₂+C （1）。

3.根据权利要求2所述的工件的两面研磨装置，其中，将关于3次前为止的3个批次的工件的形状指标的实绩值的平均值设为X₁，将补偿时间的批次间的差的平均值设为X₂。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的工件的两面研磨装置，其中，所述基准时间点是所述载板的温度变化的振幅成为0的时间点。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的工件的两面研磨装置，其中，所述基准时间点是所述载板的温度变化的振幅成为0的时间点之前的时间点。

6.根据权利要求1至3中任一项所述的工件的两面研磨装置，其中，所述形状指标为GBIR。

7.一种工件的两面研磨方法，将工件保持于载板上并以上平台及下平台夹住，所述载板形成有保持供研磨的工件的1个以上的保持孔；使所述载板及所述上平台与所述下平台相对旋转，同时研磨所述工件的两面，所述工件的两面研磨方法的特征在于，

测量两面研磨中的所述载板的温度，根据所测量的温度变化的振幅来决定用于决定两面研磨的结束时间点的基准时间点，

决定下一批次中从所述基准时间点开始追加进行两面研磨的时间即补偿时间，在从所述基准时间点开始经过已决定的所述补偿时间后的时间点结束工件的两面研磨，

所述补偿时间的决定根据从先前的批次中两面研磨的工件的形状指标的实绩值及批次间的补偿时间的差所预测的下一批次中要两面研磨的工件的形状指标的预测值来进行。

8.根据权利要求7所述的工件的两面研磨方法，其中，将所述实绩值设为X1，将所述补偿时间的差设为X2，将A、B及C设为常数，所述预测值Y由下述式（2）获得，

Y=AX₁+BX₂+C （2）。

9.根据权利要求8所述的工件的两面研磨方法，其中，将关于3次前为止的3个批次的工件的形状指标的实绩值的平均值设为X₁，将补偿时间的批次间的差的平均值设为X₂。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的工件的两面研磨方法，其中，所述基准时间点是所述载板的温度变化的振幅成为0的时间点。

11.根据权利要求7至9中任一项所述的工件的两面研磨方法，其中，所述基准时间点是所述载板的温度变化的振幅成为0的时间点之前的时间点。

12.根据权利要求7至9中任一项所述的工件的两面研磨方法，其中，所述形状指标为GBIR。