[发明专利]颗粒传感器

权利要求书

1.一种装置，包括：

-微机电MEMS电容器，包括两个板和所述两个板之间的间隙；

-气体输送器，被配置成使气体流过所述间隙；以及

-读出电路，被配置为测量所述MEMS电容器的电容。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述气体输送器包括机构和热泳装置中的至少一个，其中所述机构用于在所述间隙上产生压力差，所述热泳装置被配置为在所述间隙上产生温度梯度。

3.根据权利要求1或2所述的装置，其中，所述读出电路被配置为检测由与所述气体一起流过所述间隙的颗粒引起的所述MEMS电容器的电容的变化。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的装置，其中，所述MEMS电容器包括并联连接的多个间隙，每个间隙具有其自己的读出电子设备。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置，其中，所述间隙的宽度是可调节的。

6.根据权利要求5所述的装置，其中，通过在所述两个板上施加电压来调节所述间隙的所述宽度，使得引起静电力来移动所述两个板中的至少一个。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的装置，其中，所述间隙的宽度在0.05至2.00微米之间。

8.一种装置，包括至少一个处理核和至少一个包括计算机程序代码的存储器，所述至少一个存储器和所述计算机程序代码被配置为与所述至少一个处理核一起使所述装置至少：

-引导气体输送器，所述气体输送器被配置成使气体流过微机电MEMS电容器的板之间的间隙，以将所述气体输送通过所述间隙；

-接收来自读出电路的输入，所述读出电路被配置为测量所述MEMS电容器的电容；以及

-从所述输入得出所述气体中的颗粒浓度。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，所述气体输送器包括机构和热泳装置中的至少一个，其中所述机构在所述间隙上产生压力差，所述热泳装置被配置为在所述间隙上产生温度梯度。

10.根据权利要求8或9所述的装置，其中，所述装置还被配置为能够调节所述间隙的宽度。

11.根据权利要求10所述的装置，其中，所述装置被配置为通过将可调节的电压施加到所述板上来调节所述间隙的宽度。

12.根据权利要求8至11中任一项所述的装置，其中，所述装置被配置为依次使用多个间隙宽度获得所述气体中的颗粒的粒径分布。

13.一种方法，包括：

-引导气体输送器使气体流过微机电MEMS电容器的板之间的间隙；

-从读出电路接收输入，所述读出电路被配置为测量所述MEMS电容器的电容；以及

-从所述输入得出所述气体中的颗粒浓度。

14.根据权利要求13所述的方法，其中，所述气体输送器包括机构和热泳装置中的至少一个，其中所述机构用于在所述间隙上产生压力差，所述热泳装置被配置为在所述间隙上产生温度梯度。

15.根据权利要求13或14所述的方法，还包括调节所述间隙的宽度。

16.根据权利要求15所述的方法，其中，调节所述间隙的宽度的步骤包括将可调节的电压施加到所述板。

17.根据权利要求13至16中的任一项所述的方法，还包括依次使用多个间隙宽度获得所述气体中的颗粒的粒径分布。