[发明专利]气体释放辊及其制造方法以及使用气体释放辊的处理装置

权利要求书

1.一种气体释放辊，其特征在于，具有：

金属制内辊，在端部具有旋转轴；

圆筒状的金属制外辊，装配于所述内辊的外周面而一体化；

气体导入用槽，形成为在所述内辊的外周面的整个外周沿着所述内辊的圆周方向隔开均等的间隔且沿着所述内辊的旋转轴方向延伸，在与所述外辊的内周面之间划分气体导入路；以及

气体释放孔组，以贯穿所述气体导入路的方式形成于所述外辊，

以下定义的气体导入范围的空隙率B为20％以下，

其中，气体导入范围的空隙率B＝(气体导入路的截面积×气体导入路的条数)/(隔着气体导入路截面的最大径圆周与最小径圆周之间包围的圆环状面积)。

2.如权利要求1所述的气体释放辊，其特征在于，

以下定义的气体导入路截面的圆周隔断率A为36％以下，

气体导入路截面的圆周隔断率A＝(气体导入路截面的圆周方向的最大宽度×气体导入路的条数)/(通过气体导入路截面的圆周方向的最大宽度位置的最小径圆周长度)。

3.如权利要求1所述的气体释放辊，其特征在于，

所述气体释放孔组沿着气体释放辊的圆周方向的排列间隔比所述气体导入路的排列间隔更窄。

4.如权利要求1所述的气体释放辊，其特征在于，

所述气体导入用槽为非圆形截面。

5.如权利要求1所述的气体释放辊，其特征在于，

所述气体释放孔组相对于所述外辊的径向倾斜配置。

6.一种气体释放辊的制造方法，其特征在于，包括：

槽形成工序，在制造包括金属制内辊及圆筒状的金属制外辊的气体释放辊时，在所述内辊的外周面的整个外周以相等的间隔形成沿旋转轴方向延伸的多个气体导入用槽，所述金属制内辊在端部具有旋转轴，所述圆筒状金属制外辊具有与所述内辊的外周面接触的内周面，所述气体释放辊能够向所述外辊表面释放气体；

烧嵌工序，在通过所述槽形成工序形成了所述气体导入用槽的所述内辊的外周面烧嵌所述外辊；

接合工序，通过焊接将所述烧嵌的所述内辊和所述外辊接合；以及

孔形成工序，将气体释放孔组形成于所述外辊，所述气体释放孔组贯穿于在多个气体导入用槽与所述外辊内周面之间划分的多个气体导入路中的各气体导入路，所述多个气体导入用槽形成于所述内辊外周面，

所述槽形成工序以使以下定义的气体导入范围的空隙率B为20％以下的方式来实施，

其中，气体导入范围的空隙率B＝(气体导入路的截面积×气体导入路的条数)/(隔着气体导入路截面的最大径圆周与最小径圆周之间包围的圆环状面积)。

7.如权利要求6所述的气体释放辊的制造方法，其特征在于，

所述槽形成工序以使以下定义的气体导入路截面的圆周隔断率A为36％以下的方式来实施，

气体导入路截面的圆周隔断率A＝(气体导入路截面的圆周方向的最大宽度×气体导入路的条数)/(通过气体导入路截面的圆周方向的最大宽度位置的最小径圆周长度)。

8.一种处理装置，其特征在于，包括：

权利要求1～5中任一项所述的气体释放辊；

输送机构，一边将长条树脂膜卷绕于所述气体释放辊一边进行输送；以及

表面处理机构，与所述气体释放辊的外周面相对设置，对卷绕于所述气体释放辊的长条树脂膜实施施加热负荷的表面处理。