[发明专利]带图案膜基板的制造方法

说明书

本发明的带图案膜基板的制造方法包含：对带图案膜基板进行UV臭氧清洗或氧等离子体清洗，得到第一带图案膜基板的清洗工序，其中，所述带图案膜基板在基板上形成有具有图案的图案膜；及加热上述第一带图案膜基板而得到第二带图案膜基板的加热工序，通过上述清洗工序，上述第一带图案膜基板的图案膜的接触角减小，通过上述加热工序，上述第二带图案膜基板的图案膜的接触角得到恢复。

技术领域

本申请涉及带图案膜基板的制造方法。本申请中的带图案膜基板的制造方法例如可以在基于喷墨法的显示元件的制造中使用。作为显示元件，例如能够列举出有机电致发光显示器(以下，有机EL显示器)、微发光二极管显示器(以下，微LED显示器)或量子点显示器等。

背景技术

使用喷墨法制造有机EL显示器、微LED显示器或量子点显示器等显示元件是众所周知的。

作为使用喷墨法的这些显示元件的制造方法，能够列举出：通过喷嘴向以膜的凹凸的方式形成在基板上的图案的凹部滴加油墨的液滴并使其固化的方法；或者向作为亲液部和疏液部而预先形成在基板上的图案膜上滴加油墨的液滴从而使油墨附着在亲液部上的方法，其中，亲液部为油墨润湿部位、疏液部为排斥油墨的部位。

在通过喷嘴向设置有凹凸的图案膜的低洼(凹部)处滴加油墨的液滴使其固化的方法中，为了制作这样的图案膜，可以采用下述方法：通过以图案状对形成在基板上的抗蚀膜的表面进行曝光，从而形成由曝光部和未曝光部构成的图案，将任意一个部位溶解在显影液中，在抗蚀膜上形成凹凸的光刻法；或者利用印刷技术在基板上形成具有凹凸的图案膜的压印法。在这样的具有凹凸的图案膜中，优选凹部的基板表面露出，优选露出的基板表面为亲液性。

在喷墨法中，具有凹凸的图案膜的凸部被称为堤坝，在通过喷墨向图案膜的凹部滴加油墨时，堤坝发挥阻隔油墨混合的屏障作用。

例如，专利文献1中公开了一种在使用喷墨法的有机EL显示器的制造中，用作油墨的有机EL元件用组合物。专利文献1中还记载了预先在基板上制造堤坝，滴加形成发光层的油墨(有机EL元件用组合物)，制造有机EL显示器用的显示元件。

专利文献2中公开了一种液晶用彩色滤光片的制造方法，其特征在于，通过光刻法，在形成有遮光性部位的透光性基板上的遮光部位上形成光敏性化合物层，然后使用喷墨记录装置喷出油墨，从而使着色剂排列在透光性部位上，所述光敏性化合物层含有表面张力或临界表面张力为2.5×10^-2[N/m]以下的疏水·疏油性化合物。专利文献2中还记载了，通过喷墨向图案膜的凹部滴加油墨时，通过使形成堤坝的光敏性化合物层中含有氟类聚合物或氟类表面活性剂，从而提高堤坝的疏液性、防止油墨越过堤坝入侵相邻的凹部。

专利文献3中公开了一种用于通过光刻法获得由疏液区域和亲液区域构成的图案的疏液抗蚀剂组合物。专利文献3中还记载了，通过使用该疏液抗蚀剂组合物，可以通过喷墨法在基板上形成具有清晰的油墨润湿反差的疏液-亲液图案，以及作为在通过喷墨法向图案膜的凹部滴加油墨时防止油墨越过堤坝入侵相邻的凹部的方法，使作为凹部的基板表面为亲液性、堤坝表面为疏液性。

专利文献4中公开了一种用于喷墨法的图案化用基板，其具有薄膜，所述薄膜上形成有规定高度的堤坝、以及由该堤坝分隔开的被涂布区域。专利文献4中还记载了，作为凹部的被涂布区域是亲液性的，作为凸部的堤坝是疏液性的。

专利文献5中公开了一种正型光敏性树脂组合物，其可形成在固化膜表面具有高疏水性和疏油性的图像。专利文献5中还记载了，该正型光敏性树脂组合物适合用作液晶显示器或EL显示器中的层间绝缘膜、对应于喷墨方式的遮光材料或间隔材料。

此外，专利文献4及5中还记载了，通过光刻在基板上形成图案膜时，作为图案膜凹部的基板表面被有机物污染，通过压印法形成图案膜时，在图案膜的凹部发生膜残留，因该等缺陷导致图案膜的凹部成为疏水性，因此对使用了亲水性油墨的带图案膜基板进行亲水化处理，使图案膜的凹部为亲水性。进行亲水化处理时，在喷墨中，图案膜的凹部不排斥油墨，可良好地向带图案膜基板滴加油墨。