[发明专利]旋涂金属化

权利要求书

1.一种在衬底上沉积导电金属膜的方法，包括：

a.提供具有包含形貌的表面的所述衬底；

b.提供包含中性(不带电)金属化合物的液体金属前体，所述中性(不带电)金属化合物具有处于零价状态的金属和至少一个中性稳定配体；

其中

所述金属选自Fe、Co、Ni、Ru、Ir、Rh、Pd、Pt、Cu、Ag、Au、Os及其组合；

所述至少一种中性稳定配体选自

一氧化碳(CO)；一氧化氮(NO)；二氮(N₂)；乙炔(C₂H₂)；乙烯(C₂H₄)；C₄-C₁₈二烯或C₄-C₁₈环二烯；C₆-C₁₈三烯；C₈至C₁₈四烯；有机异氰化物RNC，其中R选自C₁至C₁₂的直链或支链的烃基或卤代烃基；有机腈RCN，其中R选自C₁至C₁₂的烃基或卤代烃基；有机膦PR’3，其中R’选自H、Cl、F、Br和C₁至C₁₂的烃基或卤代烃基；胺NRaRbRc，其中Ra、Rb和Rc可以彼此连接，并且各自独立地选自H或C₁至C₁₂的烃基或卤代烃基；有机醚R*OR**，其中R*和R**可以彼此连接，并且各自独立地选自C₁至C₁₂的烃基或卤代烃基；和通式为R₁CCR₂的末端炔烃或内部炔烃，其中R₁和R₂可以独立地选自H、C₁至C₁₂的直链、支链、环状或芳族的卤代烃基或烃基、甲硅烷基或有机甲硅烷基、甲锡烷基或有机甲锡烷基，及其组合；

所述中性(不带电)金属化合物是液体或固体，其在环境温度下可溶于选自饱和的直链、支链和环状的烃的溶剂；或者是在低于其分解温度的温度下熔化的固体；

和

所述液体金属前体在环境温度下的粘度在0.5cP至20cP之间；

和

c.将所述液体金属前体通过喷涂、辊涂、刮刀刮样(刮涂)、旋涂、表面汇集、过饱和蒸汽冷凝、喷墨印刷、幕涂、浸涂或其组合施加于所述表面以将所述导电金属膜沉积到所述衬底上。