[发明专利]台式飞行时间质谱仪

权利要求书

1.一种质谱仪，其包括：

真空壳体，其包括具有第一气体排气口的第一真空腔室；

气体泵，其具有第一气体进气口，所述第一气体进气口通过第一气体管道连接到所述第一气体排气口以用于排空所述第一真空腔室；以及

第一穿孔覆盖件，其布置在所述第一气体排气口或第一气体进气口上方，或其间的所述第一气体管道中；

其中所述第一穿孔覆盖件导电以便防止电场通过其中并经由所述第一气体管道进入所述第一气体进气口和/或第一气体排气口；

其中所述第一穿孔覆盖件包括具有所述气体所通过的孔隙的主体部分，以及延伸离开所述主体部分到相应自由端的多个突起，所述相应自由端布置成接触所述气体泵的所述壳体和/或真空壳体；以及

其中所述真空壳体和/或泵壳体电接地，借此经由所述突起使所述第一穿孔覆盖件接地。

2.根据权利要求1所述的质谱仪，其中所述突起是延伸离开所述主体部分的伸长指状物。

3.根据权利要求1所述的质谱仪，其中所述主体为大体上平面且在第一平面中延伸，且所述突起为大体上平面且在相对于所述主体的所述平面成角度的一个或多个其它平面中延伸。

4.根据权利要求1所述的质谱仪，其中所述突起相对于所述主体和/或相对于彼此为柔性的。

5.根据权利要求1-4中任一项所述的质谱仪，其中所述第一穿孔覆盖件大体上水平地布置。

6.根据权利要求1-4中任一项所述的质谱仪，其中所述气体泵安装到所述真空壳体，且其中所述第一穿孔覆盖件设置在所述气体泵和所述真空壳体之间的接合部处。

7.根据权利要求6所述的质谱仪，其中所述气体泵可拆卸地安装到所述真空壳体。

8.根据权利要求1所述的质谱仪，其中所述气体泵中的所述第一气体进气口与所述第一真空腔室中的所述第一气体排气口同轴地布置。

9.根据权利要求1所述的质谱仪，其中所述真空壳体包括具有第二气体排气口的第二真空腔室；

其中所述气体泵具有第二气体进气口，所述第二气体进气口通过第二气体管道连接到所述第二气体排气口以用于排空所述第二真空腔室；以及

第二穿孔覆盖件，其布置在所述第二气体排气口或第二气体进气口上方，或其间的所述第二气体管道中。

10.根据权利要求9所述的质谱仪，其中所述第一真空腔室和第二真空腔室彼此邻近且通过差动抽吸孔隙分隔。

11.根据权利要求9或10所述的质谱仪，其中所述气体泵壳体具有第一侧，且所述第一气体进气口和第二气体进气口设置在所述第一侧中。

12.根据权利要求1所述的质谱仪，其中所述真空壳体包括具有另一气体排气口的另一真空腔室；

其中所述气体泵具有另一气体进气口，所述另一气体进气口通过另一气体管道连接到所述另一气体排气口以用于排空所述另一真空腔室；以及

另一穿孔覆盖件，其布置在所述另一气体排气口或另一气体进气口上方，或其间的所述另一气体管道中。

13.根据权利要求12所述的质谱仪，其中所述气体泵壳体具有其中设置所述第一气体进气口的第一侧和其中设置所述另一气体进气口的第二侧。

14.根据权利要求12或13所述的质谱仪，其包括所述另一真空端口中的飞行时间质量分析仪。

15.一种质谱的方法，其包括：

提供根据任一前述权利要求所述的质谱仪；以及

操作所述气体泵以便从所述第一真空腔室抽吸气体穿过所述第一气体排气口，穿过所述第一气体管道，并进入所述第一气体进气口，其中所述气体通过所述第一穿孔覆盖件。