[发明专利]激光装置及激光装置的除湿管理方法

权利要求书

1.一种激光装置，其包括激光振荡器、用于对所述激光振荡器的内部进行除湿的除湿器以及对所述除湿器的运转进行控制的控制部，其特征在于：

所述控制部对所述除湿器进行控制，以使所述激光振荡器的内部的露点低于第一露点，或使所述露点在第二露点以上且低于第三露点，在所述第一露点下，单分子层以下的水分子吸附在所述激光振荡器的内部，在所述第二露点下，比单分子层多的水分子吸附在所述激光振荡器的内部，在所述第三露点下，在所述激光振荡器的内部开始产生结露。

2.根据权利要求1所述的激光装置，其特征在于：

所述除湿器包括在内部具有吸附剂的干燥器和与所述干燥器相连接的空气泵，

通过将所述干燥器、所述空气泵以及所述激光振荡器连接起来的管道和所述干燥器，使气流在所述激光振荡器的内部与所述空气泵之间循环来对所述激光振荡器的内部进行除湿。

3.根据权利要求1或2所述的激光装置，其特征在于：

当使所述除湿器运转，且经过规定时间后未观察到所述露点降低时，所述控制部向作业者发出警告。

4.根据权利要求1到3中任一项权利要求所述的激光装置，其特征在于：

所述激光振荡器构成为当内部的露点低于所述第一露点，或在所述第二露点以上且低于所述第三露点时，能够向外部射出激光。

5.一种激光装置的除湿管理方法，该激光装置包括激光振荡器和用于对所述激光振荡器的内部进行除湿的除湿器，其特征在于：

使所述激光振荡器的内部的露点低于第一露点，或使所述露点在第二露点以上且低于第三露点，在所述第一露点下，单分子层以下的水分子吸附在所述激光振荡器的内部，在所述第二露点下，比单分子层多的水分子吸附在所述激光振荡器的内部，在所述第三露点下，在所述激光振荡器的内部开始产生结露。

6.根据权利要求5所述的激光装置的除湿管理方法，其特征在于：

包括以下各步骤：

使所述除湿器运转，来对所述激光振荡器的内部进行除湿；

对所述激光振荡器的内部的露点进行测量；

判断所述露点是否在所述第一露点以上且所述第二露点以下，如果判断结果是肯定的，则继续对所述激光振荡器的内部进行除湿；以及

如果所述露点低于比所述第一露点低的第四露点，则使所述除湿器停止工作。

7.根据权利要求5所述的激光装置的除湿管理方法，其特征在于：

包括以下各步骤：

使所述除湿器运转，来对所述激光振荡器的内部进行除湿；

对所述激光振荡器的内部的露点进行测量；

判断所述露点是否在所述第二露点以上且低于所述第三露点，如果判断结果是肯定的，则继续对所述激光振荡器的内部进行除湿；以及

如果所述露点低于所述第二露点，则使所述除湿器停止工作。

8.根据权利要求5到7中任一项权利要求所述的激光装置的除湿管理方法，其特征在于：

当使所述除湿器运转，且经过规定时间后未观察到所述露点降低时，向作业者发出警告。