[发明专利]感光性转印材料、树脂图案的制造方法、电路布线的制造方法及触摸面板的制造方法在审
申请号: | 201980035400.7 | 申请日: | 2019-05-10 |
公开(公告)号: | CN112204468A | 公开(公告)日: | 2021-01-08 |
发明(设计)人: | 藤本进二;汉那慎一;石坂壮二;两角一真;筱田克己;松田知树 | 申请(专利权)人: | 富士胶片株式会社 |
主分类号: | G03F7/039 | 分类号: | G03F7/039;C08F20/10;G03F7/004;G03F7/11;G03F7/20;G06F3/041;H05K3/06 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 薛海蛟 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性 材料 树脂 图案 制造 方法 电路 布线 触摸 面板 | ||
1.一种感光性转印材料,其具有临时支承体、中间层及感光性树脂层,
所述感光性树脂层包含聚合物及光产酸剂,所述聚合物包含具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元,
所述感光性树脂层中所包含的所述聚合物是酸值为10mgKOH/g以下的丙烯酸树脂,
所述中间层包含水溶性或碱溶性丙烯酸树脂,
所述中间层与所述感光性树脂层接触。
2.根据权利要求1所述的感光性转印材料,其中,
所述感光性树脂层中所包含的所述丙烯酸树脂的酸值为0mgKOH/g~3mgKOH/g。
3.根据权利要求1或2所述的感光性转印材料,其中,
所述感光性树脂层中所包含的所述丙烯酸树脂进一步具有包含pKaH3以上的基团的结构单元。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性转印材料,其中,
所述中间层中的水溶性或碱溶性丙烯酸树脂为水溶性丙烯酸树脂。
5.根据权利要求4所述的感光性转印材料,其中,
所述水溶性丙烯酸树脂为具有酸基或碱性基并且所述酸基或碱性基的中和率为90摩尔%以上的水溶性丙烯酸树脂。
6.根据权利要求1至3中任一项所述的感光性转印材料,其中,
所述中间层中的水溶性或碱溶性丙烯酸树脂为碱溶性丙烯酸树脂。
7.根据权利要求6所述的感光性转印材料,其中,
所述碱溶性丙烯酸树脂的酸值为30mgKOH/g~150mgKOH/g。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的感光性转印材料,其中,
所述中间层的平均膜厚为3μm以下。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的感光性转印材料,其中,
所述中间层中的所述水溶性或碱溶性丙烯酸树脂包含具有羟基的树脂。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的感光性转印材料,其中,
在所述中间层的与接触有所述感光性树脂层的一侧相反的一侧,进一步具有包含选自由酚醛树脂、改性纤维素树脂及聚乙烯醇树脂组成的组中的至少1种水溶性树脂的水溶性树脂层。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的感光性转印材料,其中,
所述具有被酸分解性基团保护的酸基的结构单元为由下述式A表示的结构单元,
式A中,R31及R32分别独立地表示氢原子、烷基或芳基,至少R31及R32中的任一个是烷基或芳基,R33表示烷基或芳基,任选地R31或R32与R33连结而形成环状醚,R34表示氢原子或甲基,X0表示单键或2价的连结基团。
12.一种树脂图案的制造方法,其依次包括:
使权利要求1至11中任一项所述的感光性转印材料中的所述感光性树脂层侧的最外层与基板接触而进行贴合的工序;
对所述感光性树脂层进行图案曝光的工序;及
对经曝光的所述感光性树脂层进行显影而形成图案的工序。
13.一种电路布线的制造方法,其依次包括:
使权利要求1至11中任一项所述的感光性转印材料中的所述感光性树脂层侧的最外层与具有导电层的基板接触而进行贴合的工序;
对所述感光性树脂层进行图案曝光的工序;
对经曝光的所述感光性树脂层进行显影而形成图案的工序;及
对未配置所述图案的区域中的导电层进行蚀刻处理的工序。
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