[发明专利]传感器装置和操作传感器装置的方法

权利要求书

1.一种传感器装置，包括：

-压力传感器(12)，其被实现为电容式压力传感器，

-电容至数字转换器(13)，

-测试电路(14)，

-开关电路(15)，其包括将所述测试电路(14)耦接至所述压力传感器(12)的第一开关(16)，以及将所述电容至数字转换器(13)耦接至所述压力传感器(12)的第二开关(17)，

-数字电路(20)，其耦接至所述电容至数字转换器(13)、所述测试电路(14)和所述开关电路(15)，以及

-存储器(21)，其连接至所述数字电路(20)，

其中，在操作的测试阶段中，

所述数字电路(20)被配置成控制所述开关电路(15)，使得所述测试电路(14)耦接至所述压力传感器(12)并且所述电容至数字转换器(13)从所述压力传感器(12)断开，以及

所述数字电路(20)被配置成将校正数据存储在所述存储器(21)中，并且

其中，在操作的测量阶段中，

所述数字电路(20)被配置成控制所述开关电路(15)，使得所述电容至数字转换器(13)耦接至所述压力传感器(12)，并且所述测试电路(14)不连接至所述压力传感器(12)，以及

所述数字电路(20)被配置成根据由所述电容至数字转换器(13)提供的数字信号(SD)和存储在所述存储器(21)中的校正数据来提供数字化压力信号(SP)。

2.根据权利要求1所述的传感器装置，

其中，所述传感器装置(10)包括半导体本体(11)，并且

其中，所述半导体本体(11)包括所述压力传感器(12)、所述电容至数字转换器(13)、所述测试电路(14)和所述开关电路(15)。

3.根据权利要求1所述的传感器装置，

其中，在操作的测试阶段中，所述传感器装置(10)被配置成执行频率扫描并且确定所述压力传感器(12)的膜(43)的谐振频率(fres)。

4.根据权利要求1或2所述的传感器装置，其中，所述压力传感器(12)包括第一和第二电极(60、61)，所述测试电路(14)包括第一和第二端子(64、65)，并且所述开关电路(15)将所述测试电路(14)的第一和第二端子(64、65)耦接至所述第一和第二电极(60、61)。

5.根据权利要求4所述的传感器装置，

其中，所述测试电路(14)包括

-电流源(66)，其具有耦接至所述测试电路(14)的第一和第二端子(64、65)的第一和第二端子(67、68)，以及

-定时发生器(69)，其耦接至所述电流源(66)并且被配置成向所述电流源(66)提供调制器时钟信号(SM)。

6.根据权利要求5所述的传感器装置，

其中，所述测试电路(14)包括具有第一和第二输入端(73、74)的解调器电路(72)，所述第一和第二输入端耦接至所述测试电路(14)的第一和第二端子(64、65)，并且

其中，所述定时发生器(69)耦接至所述解调器电路(72)并且被配置成向所述解调器电路(72)提供解调器时钟信号(SDM)。

7.根据权利要求6所述的传感器装置，

其中，所述测试电路(14)包括

-滤波器(80)，其耦接至所述解调器电路(72)的输出侧(81)，以及

-模数转换器(82)，其耦接至所述滤波器(80)的输出侧(83)并且耦接至数字电路(20)的输入端。

8.根据权利要求4所述的传感器装置，其中，所述测试电路(14)包括具有第一和第二端子(78、79)的偏置电路(77)，所述第一和第二端子耦接至所述测试电路(14)的第一和第二端子(64、65)。