[发明专利]化合物、树脂、组合物、抗蚀图案形成方法、电路图案形成方法和树脂的纯化方法

权利要求书

1.一种化合物，其由下述式(1)表示，

式(1)中，

A为碳数1～12的基团，

R¹为碳数1～30的2n价的基团，

R²～R⁵各自独立地为碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数1～10的烷氧基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数2～10的炔基、巯基或羟基，

R⁴中的至少一者和/或R⁵中的至少一者为羟基和/或巯基，

m²和m³各自独立地为0～8的整数，

m⁴和m⁵各自独立地为0～9的整数，

n为1～4的整数，

p²～p⁵各自独立地为0～2的整数。

2.根据权利要求1所述的化合物，其中，所述式(1)中，R²中的至少一者和/或R³中的至少一者为羟基和/或巯基。

3.根据权利要求1或2所述的化合物，其中，所述式(1)所示的化合物为下述式(1a)所示的化合物，

式(1a)中，

A、R²～R⁵和n分别如所述式(1)中所定义，

R^1a为氢原子或碳数1～10的1价的基团，

R^1b为碳数1～25的n价的基团，

m²和m³各自独立地为0～4的整数，

m⁴和m⁵各自独立地为0～5的整数。

4.根据权利要求3所述的化合物，其中，所述式(1a)所示的化合物为下述式(1b)所示的化合物，

式(1b)中，

A、R⁴、R⁵、R^1a、R^1b、m⁴、m⁵和n分别如所述式(1a)中所定义，

R⁶和R⁷各自独立地为碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数2～10的炔基、巯基或羟基，

m⁶和m⁷各自独立地为0～3的整数，

R¹⁰和R¹¹为氢原子。

5.根据权利要求4所述的化合物，其中，所述式(1b)所示的化合物为下述式(1c)所示的化合物，

式(1c)中，

A、R^1a、R^1b、R⁶、R⁷、R¹⁰、R¹¹、m⁶、m⁷和n分别如所述式(1b)中所定义，

R⁸和R⁹各自独立地为碳数1～10的直链状、支链状或环状的烷基、碳数6～10的芳基、碳数2～10的烯基、碳数2～10的炔基、巯基或羟基，

m⁸和m⁹各自独立地为0～4的整数，

R¹²和R¹³为氢原子。

6.一种树脂，其具有源自权利要求1～5中任一项所述的化合物的结构单元。