[发明专利]传感器装置和操作传感器装置的方法

权利要求书

1.一种传感器装置，包括

-压力传感器(12)，其被实现为电容式压力传感器，

-电容至数字转换器(13)，其耦接至所述压力传感器(12)并且被实现为delta-sigma模拟至数字转换器，

-参考电压发生器(32)，其具有用于接收控制信号(SC)的控制输入端和用于提供参考电压(VREF)的输出端(33)，

-数字电路(20)，其耦接至所述电容至数字转换器(13)和所述参考电压发生器(32)，以及

-存储器(21)，其连接至所述数字电路(20)，

其中，所述数字电路(20)被配置成生成所述控制信号(SC)，

其中，所述参考电压发生器(32)的输出端(33)连接至所述电容至数字转换器(13)的输入端，

其中，所述参考电压发生器(32)被配置成根据所述控制信号(SC)来设置所述参考电压(VREF)的值，以及

其中，所述参考电压(VREF)的至少两个不同的值具有相同的符号和不同的量，

其中，在操作的测试阶段中，

所述数字电路(20)被配置成通过所述控制信号(SC)来控制所述参考电压发生器(32)，使得所述参考电压发生器(32)连续地生成所述参考电压(VREF)的至少两个不同的值，

所述电容至数字转换器(13)被配置成根据所述压力传感器(12)的电容值来生成数字信号(SD)的至少两个值，以及

所述数字电路(20)被配置成根据所述数字信号(SD)的至少两个值和所述参考电压的值来生成参数A0和/或校正数据。

2.根据权利要求1所述的传感器装置，

其中，所述传感器装置(10)被实现为半导体本体(11)，并且

其中，所述半导体本体(11)包括所述压力传感器(12)和所述电容至数字转换器(13)。

3.根据权利要求1所述的传感器装置，

包括被实现为电容式压力传感器的另一压力传感器(30)，其中，所述电容至数字转换器(13)耦接至所述另一压力传感器(30)。

4.根据权利要求3所述的传感器装置，

其中，所述传感器装置(10)被实现为半导体本体(11)，

其中，所述半导体本体(11)包括所述压力传感器(12)和所述电容至数字转换器(13)，并且

其中，所述半导体本体(11)包括所述另一压力传感器(30)。

5.根据权利要求1所述的传感器装置，

其中，所述数字电路(20)被配置成将所述参数A0或校正数据存储在所述存储器(21)中。

6.根据权利要求1所述的传感器装置，

其中，在操作的测量阶段中，所述数字电路(20)被配置成根据由所述电容至数字转换器(13)提供的数字信号(SD)并且根据存储在所述存储器(21)中的参数A0和/或校正数据来生成数字化压力信号(SP)。

7.根据权利要求3所述的传感器装置，

其中，所述传感器装置(10)被配置成确定所述压力传感器(12)与所述另一压力传感器(30)之间的参数A0的不匹配。

8.一种包括根据权利要求1至4中的一项所述的传感器装置(10)的设备，其中，所述设备被实现为移动设备、可穿戴设备、医疗设备、车辆和空调之一。