[发明专利]用于制造环境的基于块的预测

权利要求书

1.一种用于执行基于块的(BB)工作流程以产生与半导体制造环境相关的多个预测的方法，包含以下步骤：

接收包含多个块的至少一个BB工作流程，其中所述多个块指定一组操作以用于产生与指定的未来时间间隔相关的多个预测；

访问对应于所述多个块的多个块定义；以及

通过基于所述多个块定义执行所述一组操作，来执行所述至少一个BB工作流程，包含以下步骤：

从所述半导体制造环境中提取数据，其中所述数据包含与所述制造环境中的装备相关的静态数据与动态数据；

基于所提取的所述数据，确定所述多个预测，其中所述多个预测中的每一者与所述制造环境与所述指定的未来时间间隔相关；以及

将所述多个预测发布到所述半导体制造环境中的至少一个部件，其中所述多个预测用于确定所述半导体制造环境的制造计划。

2.如权利要求1所述的方法，其中执行所述至少一个BB工作流程的步骤进一步包含以下步骤：将所述多个预测转换成与所述至少一个部件兼容的格式，其中以所述格式将所述多个预测发布到所述至少一个部件。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述制造计划包含分配至所述半导体制造环境中的所述装备的子集的批次的数量分配，和应由所述装备的所述子集处理所述批次的处理顺序，且其中所述半导体制造环境中的所述装备的所述子集基于所述分配及所述处理顺序是自动化的。

4.如权利要求1所述的方法，进一步包含以下步骤：针对所述至少一个BB工作流程的一个或多个块，评估至少一个BB子规则或报告，以确定要执行的所述一组操作中的至少一个操作。

5.如权利要求1所述的方法，其中接收所述至少一个BB工作流程的步骤包含以下步骤：经由使用者界面从使用者接收标识所述多个块的输入。

6.如权利要求5所述的方法，其中所述输入进一步标识连接所述多个块的一个或多个链路。

7.如权利要求1所述的方法，其中执行所述至少一个BB工作流程的步骤进一步包含以下步骤：

将所提取的所述数据或所述多个预测中的至少一者写入所述半导体制造环境中的储存系统；以及

在确定与确定所述多个预测的步骤相关的错误之后，将所述错误报告给使用者。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述多个预测包含下列中的一者：未来在制品(WIP)、所述制造环境中的批次的未来状态、所述制造环境中的装置的未来状态、在所述制造环境中制造的产品的数量、在所述制造环境中制造的产品的组成、在所述制造环境中完成操作的估计时间、和在所述制造环境中执行维护操作的估计时间。

9.一种包含电脑程序代码的非暂时性计算机可读取介质，所述计算机程序代码在通过处理器执行时执行用于执行基于块的(BB)工作流程的操作，以产生与半导体制造环境相关的多个预测，所述操作包含以下步骤：

接收包含多个块的至少一个BB工作流程，其中所述多个块指定用于产生与指定的未来时间间隔相关的多个预测的一组操作；

访问对应于所述多个块的多个块定义；以及

通过基于所述多个块定义执行所述一组操作，来执行所述至少一个BB工作流程，包含以下步骤：

从所述半导体制造环境中提取数据，其中所述数据包含与所述制造环境中的装备相关的静态数据与动态数据；

基于所提取的所述数据，确定所述多个预测，其中所述多个预测中的每一者与所述制造环境与所述指定的未来时间间隔相关；以及

将所述多个预测发布到所述半导体制造环境中的至少一个部件，其中所述多个预测用于确定所述半导体制造环境的制造计划。

10.如权利要求9所述的非暂时性计算机可读取介质，其中执行所述至少一个BB工作流程的步骤进一步包含以下步骤：将所述多个预测转换成与所述至少一个部件兼容的格式，其中以所述格式将所述多个预测发布到所述至少一个部件。