[发明专利]衍射光学元件、投影装置及计测装置

权利要求书

1.一种衍射光学元件，具备：

基材；

凹凸部，设置于所述基材的一个面上，相对于入射光显现规定的衍射作用；及

反射防止层，配备于所述基材与所述凹凸部之间，

构成所述凹凸部的凸部的第一介质和构成所述凹凸部的凹部的第二介质在所述入射光的波段中的有效折射率差Δn为0.70以上，

在所述入射光从所述基材的法线方向入射时从所述凹凸部出射的衍射光的出射角度范围θ_out为60°以上，

所述入射光的波段中的相对于向所述凹凸部入射的总光量的从所述凹凸部向规定的投影面照射的设计级数的衍射光的光量的比例即综合效率为65％以上。

2.根据权利要求1所述的衍射光学元件，

所述第二介质是空气，

所述第一介质在所述入射光的波段中的有效折射率为1.70以上。

3.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

所述第一介质是由折射率不同的2种以上的材料构成的2层以上的多层膜，

所述凸部中的最上层由构成所述多层膜的构件中的低折射率材料构成。

4.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

所述Δn及所述θ_out满足Δn/sin(θ_out/2)≥1.0。

5.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

所述入射光的波段中的所述凹凸部中的0级效率小于3.0％，

所述入射光的波段中的从所述凹凸部向所述出射角度范围内出射的衍射光相对于向所述凹凸部入射的总光量的综合效率为65％以上。

6.根据权利要求5所述的衍射光学元件，

所述入射光的波段中的0级光的光量相对于从所述凹凸部出射的光的总光量小于1.0％。

7.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

所述出射角度范围小于140°，

所述入射光的波段中的所述凹凸部中的0级效率小于0.5％，

所述入射光的波段中的从所述凹凸部向所述出射角度范围内出射的衍射光相对于向所述凹凸部入射的总光量的综合效率为70％以上。

8.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

所述第一介质全部由无机材料构成。

9.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

至少在所述凹部与所述反射防止层之间具备由与构成所述凸部的最下层的构件相同的构件构成的基部。

10.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

所述反射防止层是电介质多层膜，并且对于相对于所述基材的法线方向以所述出射角度范围的1/4的角度从元件出射的所述入射光的波段的至少特定的偏振光的反射率为0.5％以下。

11.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

所述反射防止层对于相对于所述基材的法线方向以40°以内向该反射防止层入射的所述入射光的波段的至少特定的偏振光的反射率为0.5％以下。

12.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件,

所述入射光是波长700nm～1200nm中的至少一部分波段的光，

所述反射防止层对于相对于所述基材的法线方向以20°以内向该反射防止层入射的波长360～370nm的至少特定的偏振光的反射率为1.0％以下。

13.根据权利要求1或2所述的衍射光学元件，

在所述基材的与设置有所述凹凸部的一侧相反一侧的表面上具备第二反射防止层。