[发明专利]压电元件、振动波形传感器和振动波形传感器组件

权利要求书

1.一种压电元件，其特征在于，包括：

多个内部电极层；

由非铅的压电材料形成的多个压电层，所述多个压电层因对所述内部电极层施加极化用的电压而在层叠方向上极化；以及

覆盖层，其层叠于将该多个压电层夹着所述多个内部电极层层叠而成的层叠体的正面和背面。

2.如权利要求1所述的压电元件，其特征在于：

所述非铅的压电材料为碱金属铌酸盐类压电材料或者钛酸钡。

3.如权利要求2所述的压电元件，其特征在于：

所述碱金属铌酸盐类压电材料为：

(K_1-w-xNa_wLi_x)_a(Sb_yTa_zNb_1-y-z)O₃，其中，

所述w、x、y、z、a满足：

0≤w≤1，

0.02x≤0.1，

0.02w+x≤1，

0≤y≤0.1，

0≤z≤0.4，

1a≤1.1。

4.如权利要求1～3中任一项所述的压电元件，其特征在于：

使所述覆盖层小于50μm。

5.如权利要求1～4中任一项所述的压电元件，其特征在于：

还包括外部连接用的外部电极，其分别形成于所述压电元件的长边方向的两端，交替地与所述内部电极层连接。

6.一种振动波形传感器，其特征在于：

具有安装有权利要求1～5中任一项所述的压电元件的基板，所述压电元件以其极化方向相对于安装面垂直的方式安装。

7.如权利要求6所述的振动波形传感器，其特征在于：

在所述压电元件的周围设置有将所述振动传递到所述压电元件的振动环。

8.如权利要求7所述的振动波形传感器，其特征在于：

所述振动环经由所述基板而成为接地电位。

9.一种振动波形传感器组件，其特征在于，包括：

权利要求6～8中任一项所述的振动波形传感器；和

电荷放大器，其输出与该振动波形传感器的压电元件中产生的电荷量成比例的电压。