[发明专利]光学器件的制造方法在审
| 申请号： | 201980039340.6 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN112262331A | 公开（公告）日： | 2021-01-22 |
| 发明（设计）人： | 长能重博 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 邵秋雨;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 器件 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种光学器件的制造方法，包括：
氢注入工序，在以P2O5为主成分的玻璃构件中注入氢，
激光照射工序，对注入了氢的所述玻璃构件的内部聚光照射具有10kHz以上的重复频率的飞秒激光，使所述玻璃构件产生基于光诱导的折射率变化，以及
焦点移动工序，使所述飞秒激光的焦点位置对所述玻璃构件相对地移动，
通过交替地反复实施所述激光照射工序和所述焦点移动工序，或者并行实施所述激光照射工序和所述焦点移动工序，在所述玻璃构件的内部形成连续的折射率变化区域。
2.根据权利要求1所述的光学器件的制造方法，其中，所述玻璃构件包含Ge和B中的至少一者。
3.根据权利要求1或2所述的光学器件的制造方法，其中，所述玻璃构件包含碱金属和碱土金属中的一种以上。
4.根据权利要求1至权利要求3中任一项所述的光学器件的制造方法，其中，所述玻璃构件包含Ge和B这两者，
所述飞秒激光的波长的范围为420nm至530nm。
5.根据权利要求1至权利要求4中任一项所述的光学器件的制造方法，其中，所述氢注入工序包括将所述玻璃构件保持在106Pa以上的氢环境中的工序。
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