[发明专利]光学器件的制造方法在审
| 申请号： | 201980039386.8 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN112292625A | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 长能重博 | 申请（专利权）人： | 住友电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/13 | 分类号： | G02B6/13;G02B6/12 |
| 代理公司： | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人： | 杨卫萍;刘继富 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 器件 制造 方法 | ||
1.一种光学器件的制造方法，包括：
氢注入工序，在包含B2O3并且GeO2的含量以氧化物基准的质量分数计小于10％的玻璃构件中注入氢；
激光照射工序，对注入了氢的所述玻璃构件的内部聚光照射具有10kHz以上的重复频率的飞秒激光，使所述玻璃构件产生基于光诱导的折射率变化；
焦点移动工序，使所述飞秒激光的焦点位置对玻璃构件相对地移动，
交替地反复实施所述激光照射工序和所述焦点移动工序，或者并行实施所述激光照射工序和所述焦点移动工序。
2.根据权利要求1所述的光学器件的制造方法，其中，所述玻璃构件以SiO2为主成分，不包含GeO2。
3.根据权利要求1所述的光学器件的制造方法，其中，所述玻璃构件包含以质量分数计为60％以上且95％以下的SiO2。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的光学器件的制造方法，其中，B2O3的质量分数为10％以上且小于50％。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光学器件的制造方法，其中，所述玻璃构件包含碱金属和碱土金属中的一种以上的元素。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的光学器件的制造方法，其中，所述玻璃构件包含SnO2、TiO2、ZrO2中的一种以上的元素。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的光学器件的制造方法，其中，所述飞秒激光的波长的范围为265nm以上且420nm以下。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的光学器件的制造方法，其中，所述氢注入工序包括将所述玻璃构件保持在106Pa以上的氢环境中的工序。
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