[发明专利]气体监测系统

权利要求书

1.一种系统，包括：

光学源，被配置为发射脉冲光束，所述光学源包括一个或多个腔室，所述一个或多个腔室中的每个腔室被配置为容纳气态增益介质，所述气态增益介质与假定气体寿命相关联；

至少一个检测模块，被配置为：

接收和分析与所述脉冲光束相关的数据，以及

基于与所述脉冲光束相关的所述数据，产生光束质量指标；以及

监测模块，被配置为：

分析所述光束质量指标，

基于对所述光束质量指标的所述分析，确定所述气态增益介质的健康状态，以及

基于所确定的健康状态而产生状态信号，所述状态信号指示是将所述气态增益介质的使用延长至超出所述假定气体寿命、还是结束所述气态增益介质的使用，

其中所述至少一个检测模块包括a)-d)中的至少两个检测模块：

a)放电计数检测模块，被配置为检测在所述一个或多个腔室中的任何腔室中放电事件的发生，并且产生指示一段时间内的放电事件的计数的信号；

b)带宽检测模块，被配置为检测所述脉冲光束的光谱带宽，并且产生指示所述脉冲光束的光谱带宽的信号；

c)能量检测模块，被配置为检测所述脉冲光束的能量，并且产生指示所述脉冲光束的能量的信号；和

d)波长检测模块，被配置为检测所述脉冲光束的波长，并且产生指示所述脉冲光束的所述波长的信号；以及

气体检测模块，被配置为检测注入到所述一个或多个腔室中的气体混合物的量，并且产生指示所注入的气体混合物的量的信号。

2.根据权利要求1所述的系统，其中分析所述光束质量指标包括确定所述脉冲光束是否满足预定规范，并且所述光束质量指标包括所述脉冲光束的光能、所述脉冲光束的光谱带宽、和/或所述脉冲光束的波长。

3.根据权利要求2所述的系统，其中所述至少两个检测模块包括以下中的每一项：a)放电计数检测模块、b)带宽检测模块、c)能量检测模块和d)波长检测模块；并且其中：

所述带宽检测模块、所述能量检测模块和所述波长检测模块中的每一个分别基于由所述带宽检测模块产生的所述信号、由所述能量检测模块产生的所述信号、和由所述波长检测模块产生的所述信号，产生光束质量指标，

所述监测模块通过分析来自所述带宽检测模块、所述能量检测模块和所述波长检测模块的所述光束质量指标，分析所述光束质量指标以及

所述监测模块被配置为基于所分析的光束质量指标、由所述气体检测模块产生的所述信号、和由所述放电计数检测模块产生的所述信号，确定所述健康状态。

4.根据权利要求1所述的系统，其中所述多个检测模块还包括传感器，所述传感器被配置为检测氟，并且产生指示所述气态增益介质中氟的浓度的信号，并且所述监测模块被配置为基于由所述传感器产生的所述信号而确定所述健康状态。

5.根据权利要求1所述的系统，其中所述光学源包括两个腔室，所述两个腔室中的一个腔室包括主振荡器，并且所述两个腔室中的另一腔室包括功率放大器，并且所述系统还包括被配置为控制所述主振荡器和所述功率放大器中的放电事件的定时控制器，并且所述多个检测模块还包括定时检测模块，所述定时检测模块被配置为监测所述主振荡器中的放电事件与所述功率放大器中的放电事件之间的时间差。

6.根据权利要求1所述的系统，还包括被配置为从所述光学源接收所述脉冲光束的光学光刻系统，并且其中所述检测模块中的至少一些检测模块被配置为从所述光学光刻系统接收与所述脉冲光束相关的数据。

7.根据权利要求2所述的系统，其中

所述光束质量指标具有多个可能值，所述多个可能值包括指示所述脉冲光束不满足所述预定规范的第一值，

所述监测模块被配置为分析所述光束质量指标包括：所述监测模块被配置为对一段时间内或有限数目的脉冲中所述第一值的发生进行计数，

所述监测模块被配置为确定所述气态增益介质的所述健康状态包括：所述监测模块被配置为将所述发生的计数与阈值进行比较，以及

所产生的状态信号指示如果所述发生的计数超过所述阈值，则结束所述气态增益介质的使用。