[发明专利]用于使用多束检查装置扫描样品的系统和方法

权利要求书

1.一种多束工具，包括：

束配置系统，包括：带电粒子源，用于生成带电粒子的一次束；载物台，被配置为保持样品；以及偏转器系统，位于所述带电粒子源与所述载物台之间，并且被配置为将所述一次束分成束阵列，

其中所述束配置系统被配置为提供旋转束配置，所述旋转束配置具有基于所述束阵列的行中的束数量而确定的旋转角度。

2.根据权利要求1所述的多束工具，其中：

所述束阵列绕所述多束工具的光轴设置；以及

所述旋转束配置包括：所述载物台被配置为绕所述光轴被旋转。

3.根据权利要求1所述的多束工具，其中：

所述束阵列绕所述多束工具的光轴设置；以及

所述旋转束配置包括：所述偏转器系统被配置为使所述束阵列绕所述光轴旋转。

4.根据权利要求1所述的多束工具，其中：

所述多束工具被配置为生成所述样品的表面区域的图像；以及

所述旋转束配置使得所述束阵列能够扫描比成像的所述表面区域大的区域。

5.根据权利要求1所述的多束工具，其中：

所述载物台被配置为沿第一方向移动；以及

所述束阵列跨所述视场扫描包括：所述束阵列扫描沿第二方向覆盖所述视场的一组扫描线。

6.根据权利要求5所述的多束工具，其中所述第二方向相对于所述样品基本垂直于所述第一方向。

7.根据权利要求5所述的多束工具，其中所述第二方向相对于所述样品基本平行于所述第一方向。

8.根据权利要求5所述的多束工具，其中所述一组扫描线被间隔开与由所述多束工具生成的图像的像素尺寸对应的距离。

9.根据权利要求1所述的多束工具，其中所述束配置系统还包括与所述载物台耦合的控制器，所述控制器被配置为控制所述载物台的移动。

10.根据权利要求1所述的多束工具，其中所述束配置系统还包括与所述偏转器系统耦合的控制器，所述控制器被配置为控制所述偏转器系统以使所述束阵列偏转。

11.一种方法，包括：

通过多束工具生成带电粒子的一次束；

通过所述多束工具将所述一次束分成束阵列；以及

通过所述多束工具引起所述束阵列相对于待扫描样品具有旋转取向，所述旋转取向的旋转角度基于所述束阵列的行中的束数量而确定。

12.根据权利要求11所述的方法，其中引起所述束阵列相对于所述样品具有旋转取向包括：使所述样品绕所述多束工具的光轴旋转。

13.根据权利要求11所述的方法，其中引起所述束阵列相对于所述样品具有旋转取向包括：使所述束阵列绕所述多束工具的光轴旋转。

14.根据权利要求11所述的方法，其中引起所述束阵列相对于所述样品具有旋转取向使得所述束阵列能够扫描比由所述多束工具成像的样品表面区域大的区域。

15.根据权利要求11所述的方法，还包括：

通过所述多束工具使所述样品沿第一方向移动，

其中所述束阵列扫描沿第二方向覆盖成像的所述表面区域的一组扫描线。