[发明专利]热电转换模块及热电转换模块的制造方法在审
申请号: | 201980039963.3 | 申请日: | 2019-06-10 |
公开(公告)号: | CN112368851A | 公开(公告)日: | 2021-02-12 |
发明(设计)人: | 新井皓也;驹崎雅人;长友义幸 | 申请(专利权)人: | 三菱综合材料株式会社 |
主分类号: | H01L35/08 | 分类号: | H01L35/08;H01L35/34 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 刁兴利;康泉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 热电 转换 模块 制造 方法 | ||
1.一种热电转换模块,其特征在于,具有:
多个热电转换元件;
第一传热板,具有配设于多个所述热电转换元件的一端侧的第一电极部;及
第二传热板,具有配设于多个所述热电转换元件的另一端侧的第二电极部,
通过所述第一电极部及所述第二电极部而电连接多个所述热电转换元件,
配设于所述热电转换元件的一端侧的所述第一传热板由第一绝缘电路基板构成,所述第一绝缘电路基板具备第一绝缘层及形成于该第一绝缘层的一面的由铜或铜合金构成的所述第一电极部,
在所述第一电极部中与所述第一绝缘层相反侧的面,直接形成有镀Ag层,在所述第一电极部与所述镀Ag层之间不存在Ni层,
所述镀Ag层与所述热电转换元件通过Ag的烧成体而被接合。
2.根据权利要求1所述的热电转换模块,其特征在于,
在大气中,将所述第二传热板侧固定为80℃并对所述第一传热板侧负载100次自450℃至150℃的热循环之后的内部电阻上升率为60%以下。
3.一种热电转换模块的制造方法,所述热电转换模块具有:多个热电转换元件;第一传热板,具有配设于多个所述热电转换元件的一端侧的第一电极部;及第二传热板,具有配设于多个所述热电转换元件的另一端侧的第二电极部,且通过所述第一电极部及所述第二电极部而电连接多个所述热电转换元件而成,所述热电转换模块的制造方法的特征在于,
配设于所述热电转换元件的一端侧的所述第一传热板由第一绝缘电路基板构成,所述第一绝缘电路基板具备第一绝缘层及形成于该第一绝缘层的一面的由铜或铜合金构成的所述第一电极部,
所述热电转换模块的制造方法具备:
镀Ag工序,在所述第一电极部中与所述第一绝缘层相反侧的面不形成镀Ni层而直接形成镀Ag层;
层叠工序,在所述第一绝缘电路基板的所述镀Ag层的表面,通过含有Ag的Ag接合材料而层叠所述热电转换元件;及
热电转换元件接合工序,在层叠方向对所述热电转换元件及所述第一绝缘电路基板进行加压并进行加热,从而接合所述热电转换元件。
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