[发明专利]用于提供超分辨率成像的准确度的反馈并改进超分辨率成像的准确度的系统、装置和方法

权利要求书

1.一种用于基于样品的低分辨率图像通过超分辨率系统生成所述样品的超分辨率图像的方法，包括：

使用显微镜检查系统的低分辨率物镜获得所述样品的所述低分辨率图像；

使用超分辨率图像模拟，根据所述样品的所述低分辨率图像生成所述样品的至少一部分的所述超分辨率图像；

基于所述超分辨率图像和使用模拟图像分类器识别的一个或更多个相关样品的至少一部分的一个或更多个实际扫描的高分辨率图像之间的一个或更多个等价程度，识别所述超分辨率图像的准确度评估；其中，在两个或更多个不同的图像置信度确定下使用多个已知的超分辨率图像来训练所述模拟图像分类器；

基于对所述超分辨率图像的所述准确度评估，确定是否进一步处理所述超分辨率图像；以及

如果确定进一步处理所述超分辨率图像，则进一步处理所述超分辨率图像；其中，所述进一步处理包括：

使用所述显微镜检查系统的高分辨率物镜获得所述样品的至少一部分的一个或更多个高分辨率图像；以及

组合所述样品的所述至少一部分的所述超分辨率图像和所述样品的所述至少一部分的所述一个或更多个高分辨率图像以形成所述样品的所述至少一部分的单个相干图像，作为进一步处理所述超分辨率图像的一部分。

2.根据权利要求1所述的方法，其中，使用所述高分辨率物镜获得的所述样品的所述至少一部分的所述一个或更多个高分辨率图像是所述低分辨率图像中的一个或更多个伪影的高分辨率图像。

3.根据权利要求1所述的方法，还包括：

识别所述样品的所述至少一部分的所述单个相干图像中的伪影的总数；

将所述单个相干图像中的所述伪影的总数与预定义的伪影的容许数进行比较，以确定所述单个相干图像中的所述伪影的总数与所述预定义的伪影的容许数的关系；以及

根据所述单个相干图像中的所述伪影的总数与所述预定义的伪影的容许数的关系，进一步控制所述超分辨率系统的操作，以基于所述样品的一个或更多个低分辨率图像，生成所述样品的一个或更多个高分辨率图像。

4.根据权 利要求3所述的方法，其中，基于与所述一个或更多个相关样品相关联的伪影的容许数、行业指南、硬件约束、固件约束、软件约束和所述显微镜检查系统的操作员的约束中的一个或更多个来预定义所述预定义的伪影的容许数。

5.根据权利要求1所述的方法，还包括：

检测所述低分辨率图像中的一个或更多个伪影；

识别用于根据所述低分辨率图像生成所述样品的所述至少一部分的所述超分辨率图像的所述一个或更多个伪影的适合性；以及

基于用于生成所述超分辨率图像的所述一个或更多个伪影的所述适合性来确定是否进一步处理所述超分辨率图像。

6.根据权利要求5所述的方法，其中，所述一个或更多个伪影被识别为不适合于生成所述超分辨率图像。

7.根据权利要求6所述的方法，还包括：

如果基于用于生成所述超分辨率图像的所述一个或更多个伪影的适合性确定进一步处理所述超分辨率图像，则使用所述显微镜检查系统的高分辨率物镜获得所述一个或更多个伪影的一个或更多个高分辨率图像；以及

组合所述一个或更多个伪影的所述超分辨率图像和所述一个或更多个伪影的所述一个或更多个高分辨率图像以形成所述样品的所述至少一部分的单个相干图像，作为进一步处理所述超分辨率图像的一部分。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，用于生成所述超分辨率图像的所述一个或更多个伪影的适合性由适合性分类器识别，所述适合性分类器被根据适合于超分辨率成像的第一组已知伪影和不适合于超分辨率成像的第二组已知伪影进行训练。