[发明专利]用于制造发光显示装置的设备在审
申请号: | 201980040773.3 | 申请日: | 2019-02-07 |
公开(公告)号: | CN112352306A | 公开(公告)日: | 2021-02-09 |
发明(设计)人: | 姜锺赫;李元镐;任铉德;金荣会;金镇永;赵显敏;崔海润 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L33/00;H01L33/64;H01L27/15;H01L51/56;H01L51/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张晓;韩芳 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 制造 发光 显示装置 设备 | ||
1.一种用于制造发光显示装置的设备,所述设备包括:
台;
至少一个电场施加模块,设置在所述台的至少一侧上;以及
以下各项中的至少一个:至少一个印刷头,设置在所述台上方;以及加热元件,设置在所述台中或所述台周围,
其中,所述至少一个电场施加模块包括:探针头,具有至少一个探针引脚;以及驱动器,结合到所述探针头以至少上下移动所述探针头。
2.根据权利要求1所述的设备,其中,所述至少一个电场施加模块包括:
第一电场施加模块,设置在所述台的第一侧上;以及
第二电场施加模块,设置在所述台的面对所述第一侧的第二侧上。
3.根据权利要求2所述的设备,其中,所述第一电场施加模块和所述第二电场施加模块彼此独立地被驱动。
4.根据权利要求2所述的设备,其中,所述印刷头将液滴喷射到所述台上,同时从所述台的所述台上方的所述第一侧移动到所述台的所述台上方的所述第二侧。
5.根据权利要求4所述的设备,其中,所述第一电场施加模块和所述第二电场施加模块顺序地或交替地被驱动。
6.根据权利要求5所述的设备,
其中,所述第二电场施加模块的所述探针头在当所述印刷头位于所述台的所述第一侧上方的时段期间将电场施加到在所述台的所述第二侧上方设置在所述台上的基底,并且
其中,所述第一电场施加模块的所述探针头在当所述印刷头位于所述台的所述第二侧上方的时段期间将所述电场施加到所述台的所述第一侧上方的所述基底。
7.根据权利要求2所述的设备,其中,所述第一电场施加模块和所述第二电场施加模块同时地被驱动。
8.根据权利要求2所述的设备,其中,所述至少一个电场施加模块包括以下各项中的至少一个:
第三电场施加模块,设置在所述台的第三侧上;以及
第四电场施加模块,设置在所述台的面对所述第三侧的第四侧上。
9.根据权利要求1所述的设备,其中,所述驱动器包括:
第一驱动器,被构造为向前向后或者向左向右水平地移动所述探针头;以及
第二驱动器,被构造为上下竖直地移动所述探针头。
10.根据权利要求9所述的设备,其中,所述至少一个电场施加模块还包括被构造为感测所述探针头的位置的至少一个传感器单元。
11.根据权利要求10所述的设备,其中,所述至少一个电场施加模块包括:
第一传感器单元,设置在所述第一驱动器周围以感测所述探针头的水平位置;以及
第二传感器单元,设置在所述第二驱动器周围以感测所述探针头的竖直位置。
12.根据权利要求11所述的设备,其中,所述第一传感器单元和所述第二传感器单元中的每个包括:
第一位置传感器,被构造为感测所述探针头的前极限或上升极限;
第二位置传感器,被构造为感测所述探针头的后极限或下降极限;以及
第三位置传感器,位于所述第一位置传感器与所述第二位置传感器之间以感测所述探针头是否到达预定的目标点或高度。
13.根据权利要求9所述的设备,其中,所述第一驱动器和所述第二驱动器中的每个包括:
马达;以及
滚珠丝杠,结合到所述马达。
14.根据权利要求1所述的设备,其中,所述探针头包括:
至少一个第一探针引脚,连接到第一电源线;以及
至少一个第二探针引脚,连接到第二电源线。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造