[发明专利]离型膜以及离型膜的制造方法有效
申请号: | 201980041248.3 | 申请日: | 2019-04-08 |
公开(公告)号: | CN112292264B | 公开(公告)日: | 2023-10-20 |
发明(设计)人: | 酒井圭介;岩胁统史;田中奈名恵;平松聪;川渊茜 | 申请(专利权)人: | 小林股份有限公司 |
主分类号: | B32B27/00 | 分类号: | B32B27/00;B29C33/68;B32B27/30;B32B27/36;H01L21/56 |
代理公司: | 北京律和信知识产权代理事务所(普通合伙) 11446 | 代理人: | 冷文燕;谢清萍 |
地址: | 日本国东京都*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 离型膜 以及 制造 方法 | ||
本发明的目的在于提供一种不会污染模具或成形体的离型膜。本发明提供一种离型膜,是在基材层的第一面依序积层涂布层与表面层;该基材层是由聚对苯二甲酸乙二酯树脂组合物所形成,该涂布层是由丙烯酸系树脂或硅氧烷系树脂所形成,该表面层是由氟系树脂所形成;且在所述基材层的第二面积层表面层,或者依序积层涂布层与表面层;该表面层是由氟系树脂所形成,该涂布层是由丙烯酸系树脂或硅氧烷系树脂所形成。
技术领域
本发明是涉及一种离型膜以及离型膜的制造方法,更详细而言是涉及一种用于转移模制成形或压缩模制成形的离型膜以及离型膜的制造方法。
背景技术
为了通过树脂来封装半导体,使用了例如转移模制成形法及压缩模制成形法等的成形手法。在所述成形手法中,树脂在模具内硬化之后,为了使成形体容易从模具取下来,经常会使用离型膜。至今为止,关于离型膜已有各种的提案被提出。
例如,在下述专利文献1揭示了一种离型膜,其特征在于包含涂膜与由非氟化聚合物所形成的层,该涂膜是由包含了含有官能基X的氟树脂(A)与离型成分(B)的组合物所形成。
又,在下述专利文献2揭示了一种阻气性半导体树脂膜具用离型膜,其特征在于是至少具有离型性优异的离型层(I)、与支撑此离型层(I)的塑料支撑层(II);所述塑料支撑层(II)在170℃的伸长200%时的强度为1MPa至50MPa,且该离型膜在170℃的二甲苯气体渗透性为5×10-15(kmol·m/(s·m2·kPa))以下。
[现有技术文献]
[专利文献]
专利文献1:日本特开2015-74201号公报。
专利文献2:国际公开第2008/020543号。
发明内容
[发明所要解决的问题]
离型膜如上所述,是用于使成形体容易从模具取下来。离型膜要求在树脂硬化后容易从成形体剥离下来。
又,当离型膜在模具内处于高温时,离型膜所包含的成分会移动到该离型膜表面,而有因为该移动的成分导致模具或成形体受污染的情况。当发生该污染时,就需要从模具或成形体去除该成分。又,要去除该成分经常伴随着困难。因此,寻求着不发生因该成分导致模具或成形体的污染。
又,若使离型膜不仅使用于1次的成形,而是能在多次的成形中反复使用,就能够减少成形成本。然而,为了使离型膜在多次的成形中反复使用,就需要使离型膜的性能在经过多次的成形仍能维持。
根据以上内容,本发明的目的在于提供一种不污染模具或成形体的离型膜。又,本发明的目的在于提供一种不污染模具或成形体且在多次的成形中可连续使用的离型膜。
[解决问题的技术手段]
本案发明人发现具有特定的构成的离型膜,具有优异的离型性及低污染性,且能够使用在多次的成形。
即,本发明提供一种离型膜,该离型膜是在基材层的第一面,以防止寡聚物渗出层与表面层的此顺序来积层;该基材层是由聚对苯二甲酸乙二酯树脂所形成,该防止寡聚物渗出层是由丙烯酸系树脂或硅氧烷系树脂所形成,该表面层是由氟系树脂所形成;且在所述基材层的第二面,以表面层,或者以防止寡聚物渗出层与表面层的此顺序来积层;该表面层是由氟系树脂所形成,该防止寡聚物渗出层是由丙烯酸系树脂或硅氧烷系树脂所形成。
积层于所述第一面的所述防止寡聚物渗出层可以是丙烯酸系树脂。
根据JIS K7127并于175℃测定所述离型膜的拉伸断裂强度时,可以是40MPa至200MPa;并且,当根据JIS K7127并于175℃测定所述离型膜的拉伸断裂伸长度时,可以是200%至500%。
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