[发明专利]缺陷判别方法、缺陷判别装置、缺陷判别程序及记录介质

权利要求书

1.一种缺陷判别方法，利用拍摄部拍摄被以规定图案排列有明部以及亮度比上述明部低的暗部的图案照明照射的被测定物的表面来判别上述被测定物的表面的缺陷的有无，其中，上述缺陷判别方法具备：

拍摄工序，经由上述拍摄部拍摄上述被测定物的被上述图案照明照射的区域的至少一部分来获取拍摄图像；

缺陷候补检测工序，基于上述拍摄图像检测有缺陷的可能性的缺陷候补；

形状信息获取工序，获取形状信息，上述形状信息是上述被测定物的表面中的检测到缺陷候补的位置的相对于上述拍摄部的形状的信息；

判别值获取工序，获取判别值，上述判别值用于判别上述缺陷候补的缺陷；

修正值获取工序，参照将上述被测定物的表面的相对于上述拍摄部的形状作为形状变量并具备修正值的修正用数据库获取与上述形状信息对应的修正值；

修正工序，基于上述修正值修正上述判别值以及阈值中的任意一方；以及

判别工序，将修正后的上述判别值与未修正的上述阈值进行比较或者将未修正的上述判别值与上述修正后的上述阈值进行比较，来判别上述缺陷候补是否是缺陷。

2.根据权利要求1所述的缺陷判别方法，其中，

上述修正用数据库将上述被测定物的表面的距上述拍摄部的距离、相对于拍摄部的角度以及距聚焦位置的偏移距离中的至少一个作为上述形状变量，并且具备在由上述形状变量表示的形状中有上述缺陷时的上述判别值与在成为基准的形状中有上述缺陷时的上述判别值的比率作为上述修正值。

3.根据权利要求1或2所述的缺陷判别方法，其中，

上述修正用数据库还包含上述拍摄图像中的位置作为上述形状变量，

上述修正值获取工序获取上述拍摄图像中的缺陷候补的位置，并且使用包含获取到的上述缺陷候补的位置的上述形状信息获取上述修正值。

4.根据权利要求1～3中的任意一项所述的缺陷判别方法，其中，

上述修正用数据库还包含上述拍摄图像所包含的上述明部或者上述暗部中的缺陷的位置作为上述形状变量，

上述修正值获取工序获取上述明部或者上述暗部中的缺陷候补的位置，并且使用包含获取到的上述缺陷候补的位置的上述形状信息获取上述修正值。

5.一种缺陷判别方法，利用拍摄部拍摄被以规定图案排列有明部以及亮度比上述明部低的暗部的图案照明照射的被测定物的表面来判别上述被测定物的表面的缺陷的有无，其中，上述缺陷判别方法具备：

拍摄工序，经由上述拍摄部拍摄上述被测定物的被上述图案照明照射的区域的至少一部分来获取拍摄图像；

缺陷候补检测工序，基于上述拍摄图像检测有缺陷的可能性的缺陷候补；

图像内位置获取工序，获取图像内位置信息，上述图像内位置信息是上述缺陷候补在上述拍摄图像中的位置的信息；

判别值获取工序，获取判别值，上述判别值用于判别上述缺陷候补的缺陷；

修正值获取工序，参照将上述拍摄图像中的位置作为图像内位置变量并具备修正值的修正用数据库获取与上述图像内位置信息对应的修正值；

修正工序，基于上述修正值修正上述判别值以及阈值中的任意一方；以及

判别工序，将修正后的上述判别值与未修正的上述阈值进行比较或者将未修正的上述判别值与上述修正后的上述阈值进行比较，来判别上述缺陷候补是否是缺陷。

6.根据权利要求5所述的缺陷判别方法，其中，

上述修正用数据库设定将上述拍摄图像分割为格子状而得到的分割区域并将上述分割区域用作上述图像内位置变量。

7.根据权利要求5所述的缺陷判别方法，其中，

上述修正用数据库将距上述拍摄图像内的所决定的基准点的距离以及角度用作上述图像内位置变量。

8.根据权利要求6或7所述的缺陷判别方法，其中，

上述修正用数据库还包含上述被测定物的表面的相对于上述拍摄部的形状作为上述图像内位置变量，

上述修正值获取工序获取检测到上述缺陷候补的部分的上述被测定物的表面的形状，并且使用包含获取到的上述缺陷候补的形状的上述图像内位置信息获取上述修正值。