[发明专利]树脂组合物、遮光膜、遮光膜的制造方法及带隔壁的基板有效
申请号: | 201980041920.9 | 申请日: | 2019-06-26 |
公开(公告)号: | CN112368611B | 公开(公告)日: | 2022-11-22 |
发明(设计)人: | 饭冢英祐;诹访充史;小林秀行 | 申请(专利权)人: | 东丽株式会社 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02F1/1335;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/027;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/12 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 牛蔚然 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 树脂 组合 遮光 制造 方法 隔壁 | ||
1.树脂组合物,其含有:
树脂;和
有机金属化合物,其含有选自由银、金、铂及钯组成的组中的至少1种金属;和
光聚合引发剂或醌二叠氮化合物;和
白色颜料和/或黑色颜料;和
溶剂,
所述白色颜料为选自二氧化钛、氧化锆、氧化锌、硫酸钡及它们的复合化合物中的颜料,
所述黑色颜料为选自氮化钛、氮化锆以及红色颜料与蓝色颜料的重量比为20/80~80/20的混合颜料中的颜料。
2.根据权利要求1所述的树脂组合物,其还含有具有磷原子的配位性化合物。
3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,所述树脂为选自聚硅氧烷、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体及(甲基)丙烯酸聚合物中的树脂。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的树脂组合物,其中,所述树脂为聚硅氧烷。
5.根据权利要求1~4中任一项所述的树脂组合物,其还含有光产碱剂。
6.遮光膜,其是使权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物固化而成的。
7.遮光膜的制造方法,其具有下述工序:
制膜工序,在基底基板上涂布权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物,进行干燥而得到干燥膜;
曝光工序,对所得的干燥膜进行图案曝光;
显影工序,将曝光后的干燥膜中的可溶于显影液的部分溶解除去;以及
加热工序,通过对显影后的干燥膜进行加热而使其固化,
在所述加热工序中,于120℃以上且250℃以下的温度对显影后的干燥膜进行加热,由此使膜厚为10μm时的OD值上升0.3以上。
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