[发明专利]树脂组合物、遮光膜、遮光膜的制造方法及带隔壁的基板有效

专利信息
申请号: 201980041920.9 申请日: 2019-06-26
公开(公告)号: CN112368611B 公开(公告)日: 2022-11-22
发明(设计)人: 饭冢英祐;诹访充史;小林秀行 申请(专利权)人: 东丽株式会社
主分类号: G02B5/20 分类号: G02B5/20;G02F1/1335;G03F7/004;G03F7/023;G03F7/027;G09F9/30;H01L27/32;H01L51/50;H05B33/12
代理公司: 北京市金杜律师事务所 11256 代理人: 牛蔚然
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 树脂 组合 遮光 制造 方法 隔壁
【权利要求书】:

1.树脂组合物,其含有:

树脂;和

有机金属化合物,其含有选自由银、金、铂及钯组成的组中的至少1种金属;和

光聚合引发剂或醌二叠氮化合物;和

白色颜料和/或黑色颜料;和

溶剂,

所述白色颜料为选自二氧化钛、氧化锆、氧化锌、硫酸钡及它们的复合化合物中的颜料,

所述黑色颜料为选自氮化钛、氮化锆以及红色颜料与蓝色颜料的重量比为20/80~80/20的混合颜料中的颜料。

2.根据权利要求1所述的树脂组合物,其还含有具有磷原子的配位性化合物。

3.根据权利要求1或2所述的树脂组合物,其中,所述树脂为选自聚硅氧烷、聚酰亚胺、聚酰亚胺前体、聚苯并噁唑、聚苯并噁唑前体及(甲基)丙烯酸聚合物中的树脂。

4.根据权利要求1~3中任一项所述的树脂组合物,其中,所述树脂为聚硅氧烷。

5.根据权利要求1~4中任一项所述的树脂组合物,其还含有光产碱剂。

6.遮光膜,其是使权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物固化而成的。

7.遮光膜的制造方法,其具有下述工序:

制膜工序,在基底基板上涂布权利要求1~5中任一项所述的树脂组合物,进行干燥而得到干燥膜;

曝光工序,对所得的干燥膜进行图案曝光;

显影工序,将曝光后的干燥膜中的可溶于显影液的部分溶解除去;以及

加热工序,通过对显影后的干燥膜进行加热而使其固化,

在所述加热工序中,于120℃以上且250℃以下的温度对显影后的干燥膜进行加热,由此使膜厚为10μm时的OD值上升0.3以上。

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