[发明专利]流量传感器

权利要求书

1.一种流量传感器，其特征在于，包括：

引线框；

半导体芯片，其配置在所述引线框的一个面上，在所述半导体芯片形成了在所述引线框一侧具有空腔部的膜片；

流量检测部，其形成在所述半导体芯片的包含所述膜片上的所述一个面上；和

树脂，其具有使形成在所述膜片上的所述流量检测部的至少一部分露出的流路用开口部，覆盖所述引线框和所述半导体芯片，

所述树脂的、覆盖在所述引线框的与所述一个面一侧为相反侧的另一个面一侧的下部侧树脂部，在与所述膜片的周缘部相对的区域具有比周围薄的薄壁部。

2.如权利要求1所述的流量传感器，其特征在于：

所述薄壁部从与设置在所述膜片的下方的所述空腔部的内侧相对的位置延伸至与所述空腔部的外侧相对的位置。

3.如权利要求2所述的流量传感器，其特征在于：

在所述薄壁部的、与所述膜片的中心部区域相对的区域形成了开口。

4.如权利要求1所述的流量传感器，其特征在于：

所述树脂的、覆盖在所述引线框的所述一个面一侧的上部侧树脂部具有：覆盖所述半导体芯片的一侧区域的第一隆起部；和与所述第一隆起部隔着所述流路用开口部设置的第二隆起部，该第二隆起部覆盖所述半导体芯片的与所述一侧区域相对的相对侧区域，所述薄壁部具有沿所述流路用开口部的方向的长度比与沿该流路用开口部的方向正交的方向的长度大的形状，其中，所述流路用开口部沿检测对象流体的流向延伸。

5.如权利要求4所述的流量传感器，其特征在于：

所述薄壁部在俯视时具有四边形以上的多边形形状或椭圆形状。

6.如权利要求4所述的流量传感器，其特征在于：

所述薄壁部具有十字形形状，该十字形形状具有在沿所述流路用开口部的方向延伸的纵向延伸部和在与沿所述流路用开口部的方向正交的方向延伸的横向延伸部。

7.如权利要求6所述的流量传感器，其特征在于：

所述薄壁部形成为在所述纵向延伸部与所述横向延伸部的交叉部具有连接所述纵向延伸部和所述横向延伸部的台阶部的形状。

8.如权利要求1所述的流量传感器，其特征在于：

所述薄壁部的内侧侧面和外侧侧面为在所述树脂的厚度方向上向外侧展开的倾斜面。

9.如权利要求1～8中的任一项所述的流量传感器，其特征在于：

所述树脂的线膨胀系数比所述引线框的线膨胀系数小。