[发明专利]在柔性基底上制备金属图案的方法

权利要求书

1.一种在柔性基底上形成金属图案的方法，所述方法包括：

在所述柔性基底上提供图案化表面，所述图案化表面包括一个或多个凹陷特征部和与凹陷部相邻的一个或多个平台特征部；

用液体溶液涂覆所述图案化表面，以至少部分地填充所述凹陷特征部；

使所述液体溶液硬化，以在所述凹陷特征部中形成可剥离固体层；

在使所述液体溶液硬化之后蚀刻所述图案化表面；

提供金属层以覆盖所蚀刻的图案化表面；以及

将所述凹陷特征部中的所述固体层连同所述固体层上的所述金属层一起从所述柔性基底移除，以在所述柔性基底的所述平台特征部上形成金属图案。

2.根据权利要求1所述的方法，所述方法还包括：在涂覆所述液体溶液之前，处理所述图案化表面，以在所述图案化表面上形成剥离涂层。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其中所述液体层还覆盖所述图案化表面上的所述平台特征部。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中在所述硬化之后，硬化产物残余物保留在所述平台特征部上，所述硬化产物残余物的干燥厚度是所述凹陷特征部中所述固体层的厚度的至多1/2。

5.根据权利要求4所述的方法，其中所述硬化产物残余物具有约200nm或更小的干燥厚度。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的方法，其中所述蚀刻能够移除或改性所述剥离涂层。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述金属层通过溅射沉积与粘结层一起提供。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中移除所述固体层还包括：将可固化树脂外覆在所述金属层上，并且使所述可固化树脂固化以形成固化树脂层。

9.根据权利要求8所述的方法，所述方法还包括：剥离所述固化树脂层，以将所述凹陷特征部中的所述固体层连同所述固体层上的所述金属层一起从所述柔性基底移除。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中在所述柔性基底上提供图案化表面包括在所述柔性基底上形成微复制特征部。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述微复制特征部形成在所述柔性基底的图案化表面层上。

12.根据权利要求2至10中任一项所述的方法，其中所述剥离涂层使用六甲基二硅氧烷(HMDSO)通过等离子体沉积工艺形成。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，其中所述液体溶液包含聚(乙烯醇)(PVA)。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的方法，其中所述柔性基底的所述平台特征部上的所述金属图案形成具有大于95％的开口面积的网格形状。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的方法，其中具有所述金属图案的所述图案化表面用与所述图案化表面折射率匹配的材料回填。

16.一种根据权利要求1至15中任一项所述的方法制成的装置，所述装置包括：

所述柔性基底；

所述金属图案，所述金属图案仅设置在所述平台特征部的顶部表面上，以在所述柔性基底上形成网格形状，

其中所述平台特征部具有约50nm至约5微米的平均线宽和约50nm至约5微米的平均高度。