[发明专利]放射线检测器、及放射线检测器的制造方法

说明书

放射线检测器具备：基板，其具有第1电极部；放射线吸收层，其相对于基板配置于一侧，且由多个钙钛矿晶体构成；及第2电极部，其相对于放射线吸收层配置于一侧，且经由放射线吸收层与第1电极部相对。在放射线吸收层中第1电极部与第2电极部之间的区域上，多个钙钛矿晶体分别以将第1电极部与第2电极部相对的第1方向作为长边方向而延伸的方式形成。

技术领域

本发明涉及一种放射线检测器、及放射线检测器的制造方法。

背景技术

作为可应用于放射线检测器的放射线吸收层的材料，启示有钙钛矿材料。钙钛矿材料与CsI、a-Se、CdTe等相比廉价，因此可预想在需要大面积的放射线检测器的技术领域(例如，医疗领域、非破坏检查领域等)中具有优势。在非专利文献1中，记载有具备由钙钛矿材料形成的放射线吸收层的直接转换型的放射线检测器。

现有技术文献

非专利文献

非专利文献1：“Detection of X-ray photons by solution-processed leadhalide perovskites”,NATURE PHOTONICS,英国，Nature publishing Group,May 25,2015,Vol.9,p.444-449

发明内容

发明所要解决的问题

在上述那样的直接转换型的放射线检测器中，就确保放射线的吸收效率的观点而言，优选为放射线吸收层的厚度较大。然而，若放射线吸收层的厚度变大，则因放射线的吸收在放射线吸收层中产生的电荷(电子及空穴)的移动距离会变大，因此，有电荷的收集效率下降或多个像素间的串扰增大的担忧。

因此，本发明的目的在于，提供一种能够抑制电荷的收集效率下降或多个像素间的串扰增大并且确保放射线的吸收效率的放射线检测器、及这样的放射线检测器的制造方法。

解决问题的技术手段

本发明的一方面的放射线检测器，具备：基板，其具有第1电极部；放射线吸收层，其相对于基板配置于一侧，且由多个钙钛矿晶体构成；及第2电极部，其相对于放射线吸收层配置于一侧，且经由放射线吸收层与第1电极部相对；在放射线吸收层中第1电极部与第2电极部之间的区域上，多个钙钛矿晶体分别以将第1电极部与第2电极部相对的第1方向作为长边方向而延伸的方式形成。

在该放射线检测器中，放射线吸收层由多个钙钛矿晶体构成，在放射线吸收层中第1电极部与第2电极部之间的区域上，多个钙钛矿晶体分别以将第1电极部与第2电极部相对的第1方向作为长边方向而延伸的方式形成。由此，即使为了确保放射线的吸收效率而增大放射线吸收层的厚度，例如在第1电极部由多个第1电极构成的情况下，也可抑制多个第1电极中的电荷的收集效率下降或多个第1电极间的串扰增大。因此，根据该放射线检测器，能够抑制电荷的收集效率下降或多个像素间的串扰增大并且确保放射线的吸收效率。

在本发明的一方面的放射线检测器中，在第1电极部与第2电极部之间的区域上，第1方向上的钙钛矿晶体的长度在将与第1方向垂直的第2方向上的钙钛矿晶体的宽度设为1时，也可为2以上。由此，能够更可靠地抑制电荷的收集效率下降或多个像素间的串扰增大。

在本发明的一方面的放射线检测器中，在第1电极部与第2电极部之间的区域上，第1方向上的钙钛矿晶体的长度也可为10μm以上。由此，容易增大放射线吸收层的厚度，因此，能够容易且可靠地确保放射线的吸收效率。