[发明专利]导光装置及激光加工装置

权利要求书

1.一种导光装置，其特征在于，具备：

第一导光部，其反射并导引从光源照射的光；

多面镜，其被可旋转地构成，具有以当沿旋转轴方向观察时构成正多边形状的反射面的方式配置的多个反射部，且一面使通过所述第一导光部导引的光旋转，一面由该反射部进行反射；

第二导光部，其反射由所述多面镜的所述反射部反射的光，且按照每个该反射部导引光以使光分别照射在被照射物上；及

调整部，其通过使所述第一光导部所包含的光学零件沿旋转轴方向平行移动，在保持入射在所述多面镜上的光的光轴方向的同时，调整所述光的光轴在所述旋转轴方向上的位置，

所述多面镜的所述反射部，是以使入射的光的光轴朝所述旋转轴方向偏移而进行反射的方式构成，

通过所述调整部调整入射在所述多面镜的光的光轴的所述旋转轴方向上的位置，使照射在所述被照射物上的光的线宽方向的位置变化，进而一面使照射在所述被照射物上的光的线宽方向的位置变化一面照射光。

2.根据权利要求1所述的导光装置，其中，所述调整部根据预先设定的值，使入射在所述多面镜的光的光轴的所述旋转轴方向上的位置变化。

3.根据权利要求1或2所述的导光装置，其中，所述调整部使入射在所述多面镜的光的光轴的所述旋转轴方向上的位置周期性地变化。

4.一种激光加工装置，其特征在于，具备：

根据权利要求1所述的导光装置；及

所述光源，其产生激光。

5.根据权利要求4所述的激光加工装置，其中，

所述被照射物是板状，

以照射区域在线宽方向重叠的方式多次对所述被照射物照射激光，

根据所述被照射物的加工槽的深度，使所述激光的焦点位置相对地接近所述被照射物的照射位置。