[发明专利]流量控制系统和流量测定方法

权利要求书

1.一种流量控制系统，其特征在于，具备：

第一阀，所述第一阀设置于流量控制器的下游侧；流量测定装置，所述流量测定装置具有：设置于所述第一阀的下游侧的压力传感器、温度传感器和设置于两个传感器的下游侧的第二阀；和控制部，所述控制部对第一阀和第二阀的开闭动作进行控制，

所述控制部具有：记录部，所述记录部对所述压力传感器和所述温度传感器的测量值进行记录；

存储部，所述存储部对与所述压力传感器的测量值对应的从第一阀到第二阀为止的容积值进行存储；和

运算部，所述运算部基于第一压力值和第一温度值、第二压力值和第二温度值以及从所述存储部得到的与所述第二压力值对应的从第一阀到第二阀为止的容积值，对流量进行运算，其中，

所述第一压力值和第一温度值为：将第一阀和第二阀打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第一阀和第二阀同时关闭，此后测量得到的第一压力值和第一温度值，

所述第二压力值和第二温度值为：将第一阀和第二阀打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第二阀关闭，此后，经过规定时间后，将第一阀关闭后测量得到的第二压力值和第二温度值。

2.根据权利要求1所述的流量控制系统，其特征在于，还具备：配置于所述第一阀与所述第二阀之间的第三阀，

所述运算部加入第三压力值和第三温度值、第四压力值和第四温度值对流量进行运算，其中，

所述第三压力值和第三温度值为：在对所述第二压力值和第二温度值进行测量后，在第一阀关闭的状态下以比所述规定时间更短时间将第二阀打开，并且在打开第二阀同时或在即将打开之前将所述第三阀关闭，在所述第二阀和所述第三阀关闭的状态下测量得到的第三压力值和第三温度值，

所述第四压力值和第四温度值为：在对所述第三压力值和第三温度值进行测量后，保持所述第一阀和所述第二阀关闭的状态将第三阀打开而测量得到的第四压力值和第四温度值。

3.一种流量测定方法，其特征在于，是在流体控制系统中进行的，所述流体控制系统具备：第一阀，所述第一阀设置于流量控制器的下游侧；流量测定装置，所述流量测定装置具有：设置于所述第一阀的下游侧的压力传感器、温度传感器和设置于两个传感器的下游侧的第二阀；和控制部，所述控制部对第一阀和第二阀的开闭动作进行控制，所述流量测定方法包括：

第一步骤，将第一阀和第二阀打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第一阀和第二阀同时关闭，此后对压力和温度进行测定；

第二步骤，将第一阀和第二阀打开而让气体流动，在气体流动的状态下将第二阀关闭，此后，经过规定时间后对将第一阀关闭后的压力和温度进行测定；和

第三步骤，根据在第一步骤测定得到的压力和温度、在第二步骤测定得到的压力和温度、以及与第二步骤测定得到的压力相对应而变动的强化容积，对流量进行运算。

4.根据权利要求3所述的流量测定方法，其特征在于，

流量控制系统具备第三阀，所述第三阀配置在流量控制器和第一阀的下游侧且在压力传感器和温度传感器的上游侧，所述第三阀在进行所述第一步骤和所述第二步骤期间打开，

将下述压力用于第三步骤的流量运算：在所述第二步骤的压力测定和温度测定后，将所述第三阀关闭，并且使第二阀在短时间开闭后测定得到的压力；和在其后进一步关闭第二阀的状态下将第三阀打开后测量得到的压力。