[发明专利]晶片卡盘组件

权利要求书

1.一种用于支撑晶片的晶片卡盘组件，所述卡盘组件包含：

卡盘毂部；

定心毂部，其被设置在所述卡盘毂部内；

啮合设备，其能分别在啮合位置与脱离位置之间操作，以使所述卡盘毂部与所述定心毂部啮合，从而防止在所述卡盘毂部与所述定心毂部之间的沿顺时针旋转方向或逆时针旋转方向中的一者的相对运动、或允许在所述卡盘毂部与所述定心毂部之间的沿任一旋转方向的相对运动；

卡盘马达，其用于基于所述啮合设备的所述啮合或脱离位置而在晶片处理操作和晶片定心操作期间选择性地使所述卡盘毂部和/或所述定心毂部转动；

多个卡盘臂，其被安装在所述卡盘毂部上，每一卡盘臂在邻近所述卡盘毂部的近端与远离所述卡盘毂部的远端之间径向地延伸；以及

多个定心凸轮，其各自被安装在卡盘臂的远端处或附近，且能相对于所述定心毂部而向内或向外径向地移动，以响应于所述定心毂部相对于所述卡盘毂部的旋转运动而啮合或释放所支撑的晶片的边缘。

2.根据权利要求1所述的晶片卡盘组件，其中所述卡盘马达被配置成在所述晶片定心操作期间提供所述定心毂部与所述卡盘毂部之间的相对旋转运动。

3.根据权利要求2所述的晶片卡盘组件，其中所述定心毂部在所述晶片定心操作期间相对于所述卡盘马达固定，且所述卡盘马达被配置成使所述卡盘毂部在所述晶片定心操作期间沿第一旋转方向转动。

4.根据权利要求3所述的晶片卡盘组件，其中所述卡盘马达被配置成使所述定心毂部和所述卡盘毂部在所述晶片处理操作期间沿相同旋转方向一起转动。

5.根据权利要求4所述的晶片卡盘组件，其中所述晶片处理操作期间的所述定心毂部和所述卡盘毂部的所述相同旋转方向与所述晶片定心操作期间的所述卡盘毂部的所述第一旋转方向相反。

6.根据权利要求1所述的晶片卡盘组件，其中所述定心毂部在其外部表面上包含至少一个凸轮表面。

7.根据权利要求6所述的晶片卡盘组件，其中每一卡盘臂包含相应的细长致动杆，其被操作性地设置于以下两者之间：所述定心毂部的所述至少一个凸轮表面和设置于所述多个定心凸轮的各个卡盘臂的远端处的定心凸轮。

8.根据权利要求7所述的晶片卡盘组件，其中每一细长致动杆在其近端处包含轴承表面，其用于与所述定心毂部的所述至少一个凸轮表面啮合。

9.根据权利要求7所述的晶片卡盘组件，其中每一细长致动杆在其远端处包含与相应卡盘臂的相应定心凸轮的连接件。

10.根据权利要求9所述的晶片卡盘组件，其中所述定心毂部的旋转运动使得所述定心毂部的相应的凸轮表面径向地往外推动相应的细长致动杆，从而通过所述连接件来操作相应的定心凸轮。

11.根据权利要求1所述的晶片卡盘组件，其还包含至少一个真空垫，其用于在所述晶片定心和/或晶片处理操作期间支撑所述晶片。

12.根据权利要求11所述的晶片卡盘组件，其中所述至少一个真空垫被配置成在所述晶片被所述多个定心凸轮释放时，至少在所述晶片处理操作期间将所述晶片保持在所述晶片卡盘组件中的定心位置。

13.根据权利要求11所述的晶片卡盘组件，其中所述至少一个真空垫被设置在所述多个卡盘臂中的至少一个上。

14.根据权利要求11所述的晶片卡盘组件，其中所述多个卡盘臂中的每一个包含真空管线，其用于供应真空压力至所述至少一个真空垫。

15.根据权利要求14所述的晶片卡盘组件，其中，检测在所述至少一个真空垫处的真空压力是否存在，并将其与所述晶片卡盘组件中的所述晶片是否存在相关联、或与缺陷晶片的存在相关联。