[发明专利]使用增材制造工艺所形成的抛光垫及其相关方法

权利要求书

1.一种抛光垫，所述抛光垫包括：

抛光垫材料的连续聚合物相，所述抛光垫材料的连续聚合物相形成所述抛光垫的抛光表面，包括：

由第一预聚物组合物的聚合反应产物所形成的一或多个第一材料域；和

多个第二材料域，所述多个第二材料域由第二预聚物组合物的聚合反应产物所形成，其中

所述第二预聚物组合物与所述第一预聚物组合物不同，

所述一或多个第一材料域和所述多个第二材料域之间的界面区域包括所述第一预聚物组合物和所述第二预聚物组合物的共聚反应产物，

所述多个第二材料域以所述抛光垫材料的连续聚合物相中的一图案加以分布，所述图案包括：

(a)所述多个第二材料域以与所述抛光垫材料的连续聚合物相的X-Y平面中的所述一或多个第一材料域并排布置的方式加以设置，其中当在所述X-Y平面中量测时，所述多个第二材料域中的一或多个的至少一个横向维度小于约10mm；

(b)所述多个第二材料域以与所述抛光垫材料的连续聚合物相的Z平面中的所述一或多个第一材料域交替堆叠布置的方式加以设置，其中当在所述Z平面中量测时，所述多个第二材料域中的一或多个的至少一个维度小于约1mm；或

(c)(a)与(b)的组合，

所述X-Y平面平行于所述抛光垫的支撑表面，

所述Z平面与所述X-Y平面正交，和

所述一或多个第一材料域和所述多个第二材料域包括彼此在一或多个材料特性上的差异。

2.如权利要求1所述的抛光垫，其中

所述多个第二材料域以与所述一或多个第一材料域并排布置的方式加以分布；和

当在所述X-Y平面中量测时，所述第二材料域中的一或多个的至少一个维度小于约500μm。

3.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述一或多个材料特性选自由以下项所组成的群组：储能模量E′、损耗模量E″、硬度、tan δ、屈服强度、极限抗拉强度、伸长率、导热率、zeta电位、质量密度、表面张力、Poison’s比率、断裂韧性、表面粗糙度(Ra)、玻璃化转变温度(Tg)及上述的组合。

4.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述第一材料域和所述第二材料域之间的储能模量的比率大于约1∶2。

5.如权利要求1所述的抛光垫，进一步包括散布在所述抛光垫材料的连续聚合物相内的多个孔形成特征。

6.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述多个第二材料域以与所述一或多个第一材料域堆叠布置的方式加以分布。

7.如权利要求1所述的抛光垫，其中所述抛光垫材料的连续聚合物相通过顺序的重复以下步骤而形成：

将所述第一预聚物组合物的液滴和所述第二预聚物组合物的液滴分配到先前形成的印刷层的表面上；和

至少部分地固化所述第一预聚物组合物的经分配的液滴与所述第二预聚物组合物的经分配的液滴，以形成印刷层。

8.如权利要求7所述的抛光垫，进一步包括多个孔形成特征，所述多个孔形成特征散布在所述抛光垫材料的连续聚合物相内，其中被使用于形成所述抛光垫材料的连续聚合物相的一或多个顺序的重复进一步包括以下步骤：根据液滴分配图案来分配牺牲材料或牺牲材料前驱物的液滴的步骤，以形成所述多个孔形成特征的至少数个部分。