[发明专利]光学单元的支撑

权利要求书

1.一种微光刻布置，特别是使用极UV范围(EUV)的光，所述微光刻布置具有

-用于支撑光学单元(106、107)的支撑结构(109；209；309)，所述光学单元的质量特别是4t至14t，优选地为5t至10t，更优选地为6t至8t，

其中

-所述支撑结构(109；209；309)包括用于支撑所述光学单元(106、107)的多个分离的支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4；210.1、210.2；310.1、310.2)，

-所述支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4；210.1、210.2；310.1、310.2)中的每一个包括空气轴承单元(111.1、111.2、111.3、111.4)，通过所述空气轴承单元能够生成能够抵消所述光学单元(106、107)的重力的支撑力，

其特征在于，

-支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4；210.1、210.2；310.1、310.2)的数目至少为四个，

-通过联接装置(112；212；312)联接所述支撑单元(110.1、110.2、110.3、110.4；210.1、210.2；310.1、310.2)中的至少两个以形成支撑单元对，使得所述联接装置(112；212；312)抵消与所述支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2；210.1、210.2；310.1、310.2)的支撑力的可预先确定比率的偏差。

2.根据权利要求1所述的布置，其中，

-所述支撑力的可预先确定比率为1/3至1/1，优选为1/2至1/1，更优选为2/3至1/1，

和/或

-所述联接装置(112；212；312)配置为至少实质上均衡所述支撑单元对的两个支撑单元(110.1、110.2；210.1、210.2；310.1、310.2)的支撑力的量，

和/或

-所述联接装置(112；212；312)配置为使所述两个支撑单元(110.1、110.2；210.1、210.2；310.1、310.2)的支撑力的量之间的偏差最小化。

3.根据权利要求1或2所述的布置，其中，

-所述支撑单元对中的第一支撑单元(110.1；210.1；310.1)配置为施加第一支撑力，

-所述支撑单元对中的第二支撑单元(110.2；210.2；310.2)配置为施加第二支撑力，并且

-所述联接装置(112；212；312)配置为，使得所述第一支撑力的量与所述第二支撑力的量的偏差小于1.0％，优选地小于0.5％，更优选地小于0.1％。