[发明专利]双干涉测量样本测厚仪

权利要求书

1.一种测量系统，其包括：

控制器，其经通信耦合到第一干涉仪和第二干涉仪，所述控制器包含一或多个处理器，所述一或多个处理器配置成执行使得所述一或多个处理器进行以下操作的程序指令：

从所述第一干涉仪接收第一干涉信号，其中所述第一干涉仪利用第一照明光束在沿着测量方向扫描所述测试样本或所述参考样本中的至少一个时在测试样本的第一表面与具有已知厚度的参考样本的第一表面之间产生第一干涉图，所述第一照明光束包含来自光束分光器的照明光束的第一部分；

从所述第二干涉仪接收第二干涉信号，其中所述第二干涉仪利用第二照明光束在所述测试样本的第二表面与所述参考样本的第二表面之间产生第二干涉图，所述第二照明光束包含来自所述光束分光器的所述照明光束的第二部分；和

基于所述参考样本的所述厚度和平移台在所述第一干涉信号与所述第二干涉信号的包络线的峰值之间行进的距离来沿所述测量方向确定所述测试样本的厚度。

2.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述光束分光器经配置以接收来自照明源的照明，且所述第一干涉信号和所述第二干涉信号的所述包络线的宽度与来自所述照明源的所述照明的时间相干长度相关。

3.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述第一干涉仪和所述第二干涉仪将所述第一照明光束和所述第二照明光束聚焦到所述测试样本的所述第一表面和所述第二表面的相对点，其中所述测试样本沿所述测量方向的所述厚度包含所述相对点之间的单个厚度测量值。

4.根据权利要求3所述的测量系统，其中所述第一干涉仪和所述第二干涉仪包含单像素检测器。

5.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述第一干涉仪和所述第二干涉仪将所述第一照明光束和所述第二照明光束作为准直光束导引到所述测试样本的所述第一表面和所述第二表面的相对区，其中所述测试样本沿所述测量方向的所述厚度与所述相对区之间的多个厚度测量值相关。

6.根据权利要求5所述的测量系统，其中所述第一干涉仪和所述第二干涉仪包含多像素检测器，其中所述第一干涉信号和所述第二干涉信号各自包含与所述相对区内的所述测试样本的所述第一表面和所述第二表面上的多个相对点相关的多个信号。

7.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述光束分光器经配置以接收来自照明源的照明，且所述照明源包括：

宽带激光源。

8.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述光束分光器经配置以接收来自照明源的照明，且照明源包括：

发光二极管LED。

9.根据权利要求8所述的测量系统，其中所述LED包括：

超发光LED。

10.根据权利要求1所述的测量系统，其中所述控制器依所选间隔对所述第一干涉信号和所述第二干涉信号采样以产生所采样第一干涉信号和所采样第二干涉信号。

11.根据权利要求10所述的测量系统，其中所述控制器包含用以对所述第一干涉信号和所述第二干涉信号采样的模拟到数字转换器。

12.根据权利要求11所述的测量系统，其中所述模拟到数字转换器依所述所选间隔从扫描所述测试样本或所述参考样本中的所述至少一个的所述平移台接收硬件位置触发后，对所述第一干涉信号和所述第二干涉信号采样。