[发明专利]激光加工装置、激光加工方法以及成膜掩模的制造方法

说明书

本发明具备：激光光学系统(1)，其生成线光束(Lb)；荫罩(2)，其配置在上述激光光学系统(1)的光行进方向下游侧，与在掩模用构件(9)上激光加工的多个开口图案对应地设置有多个开口窗；投影透镜(3)，其将上述荫罩(2)的像投影到上述掩模用构件(9)上；移动机构(4)，其使向上述荫罩(2)上照射的上述线光束(Lb)相对于上述荫罩(2)和上述投影透镜(3)相对地在与上述线光束(Lb)的长轴交叉的方向上移动；以及工作台(5)，其载置并保持上述掩模用构件(9)。

技术领域

本发明涉及激光加工装置，尤其涉及旨在缩短激光加工工序的节拍时间(tacttime)的激光加工装置、激光加工方法以及成膜掩模(mask)的制造方法。

背景技术

现有的激光加工装置是对与在被加工物上激光加工的多个加工痕对应地设置有多个开口窗的荫罩(shadow mask)照射激光，由穿过开口窗的激光束在被加工物上激光加工出上述加工痕(例如，参照专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：国际公开第2017/154233号

发明内容

发明要解决的问题

但是，在这种现有的激光加工装置中，是反复进行一边对荫罩照射多次发射的激光一边在被加工物的规定区域内激光加工出加工痕，当该加工结束时使载置被加工物的工作台(stage)移动规定距离而在被加工物的别的区域内与上述同样地激光加工出加工痕这一动作，即是所谓的步进重复方式，因此，既确保上述工作台的移动精度又对工作台进行加速减速控制来使其移动所需要的时间远远长于激光加工时间，难以缩短激光加工工序的节拍时间。所以，存在加工产品的制造成本变高这一问题。

因此，本发明为了应对这种问题，其目的在于，提供一种旨在缩短激光加工工序的节拍时间的激光加工装置、激光加工方法以及成膜掩模的制造方法。

用于解决问题的方案

为了达成上述目的，本发明的激光加工装置具备：激光光学系统，其生成线光束；荫罩，其配置在上述激光光学系统的光行进方向下游侧，与在被加工物上激光加工的多个加工痕对应地设置有多个开口窗；投影透镜，其将上述荫罩的像投影到上述被加工物上；移动机构，其使向上述荫罩上照射的上述线光束相对于上述荫罩和上述投影透镜相对地在与上述线光束的长轴交叉的方向上移动；以及工作台，其载置并保持上述被加工物。

另外，本发明的激光加工方法是对与在被加工物上激光加工的多个加工痕对应地设置有多个开口窗的荫罩上照射线光束，由穿过上述开口窗的激光束在上述被加工物上激光加工出上述加工痕的激光加工方法，在上述激光加工方法中，使向上述荫罩上照射的上述线光束在激光加工过程中相对于上述荫罩、以及将该荫罩的像投影到上述被加工物上的投影透镜相对地在与上述线光束的长轴交叉的方向上移动。

而且，本发明的成膜掩模的制造方法是对与在掩模用构件上激光加工的多个开口图案对应地设置有多个开口窗的荫罩上照射线光束，由穿过上述开口窗的激光束在上述掩模用构件上激光加工出上述开口图案的成膜掩模的制造方法，其中，上述掩模用构件是将树脂膜、以及设置有多个贯通孔的包括磁性金属材料的金属片层叠而成的，在上述成膜掩模的制造方法中，使向上述荫罩上照射的上述线光束在激光加工过程中相对于上述荫罩、以及将该荫罩的像投影到上述掩模用构件上的投影透镜相对地在与上述线光束的长轴交叉的方向上移动。

发明效果