[发明专利]衬底处理系统中的衬底支撑件的动态温度控制

权利要求书

1.一种用于衬底处理系统的温度受控衬底支撑件，所述温度受控衬底支撑件包含：

衬底支撑件，其分别包括N个区域和N个电阻式加热器，其中N是大于1的整数，且温度传感器位于所述N个区域中的一个中；以及

控制器，其被配置成：

计算在操作期间所述N个电阻式加热器的N个电阻；以及

响应于以下条件，在所述衬底处理系统的操作期间调整通向所述N个电阻式加热器中的N-1个的功率：

通过所述温度传感器在所述N个区域中的所述一个中所测得的温度；

所述N个电阻式加热器的所述N个电阻；以及

N-1个电阻比。

2.根据权利要求1所述的温度受控衬底支撑件，其中当所述衬底支撑件处于均匀温度时，通过分别测量在所述N个区域中的所述N个电阻式加热器的所述N个电阻、并将所述N个区域中的N-1个的所述N个电阻中的N-1个除以对应于所述N个区域中的所述一个的所述N个电阻中的一个来确定所述N-1个电阻比。

3.根据权利要求2所述的温度受控衬底支撑件，其中所述均匀温度对应于环境温度。

4.根据权利要求1所述的温度受控衬底支撑件，其中所述N-1个区域不包含温度传感器。

5.根据权利要求1所述的温度受控衬底支撑件，其中所述控制器通过以下步骤来计算在操作期间所述N个电阻式加热器的所述N个电阻：

监控分别供应给所述N个电阻式加热器的N个电压；以及

基于分别供应给所述N个电阻式加热器的所述N个电压来计算所述N个电阻。

6.根据权利要求1所述的温度受控衬底支撑件，其中所述控制器通过以下步骤来计算在操作期间所述N个电阻式加热器的所述N个电阻:

监控分别供应给所述N个电阻式加热器的N个电流；以及

基于分别供应给所述N个电阻式加热器的所述N个电流来计算所述N个电阻。

7.根据权利要求1所述的温度受控衬底支撑件，其中所述控制器通过以下步骤来计算在操作期间所述N个电阻式加热器的所述N个电阻：

监控分别供应给所述N个电阻式加热器的N个电流和N个电压；以及

基于分别供应给所述N个电阻式加热器的所述N个电流和所述N个电压来计算所述N个电阻。

8.根据权利要求1所述的温度受控衬底支撑件，其中所述控制器被配置成基于通过所述温度传感器所测量的所述温度来控制通向所述N个区域中的所述一个的功率。

9.一种制造用于衬底处理系统的温度受控衬底支撑件的方法，其包含：

在衬底支撑件的N个区域中嵌入N个电阻式加热器；

将温度传感器嵌入所述衬底支撑件的所述N个区域中的一个中；

测量所述衬底支撑件的所述N个区域中的所述N个电阻式加热器的N个电阻；

基于所述N个电阻确定N-1个电阻比；

将控制器连接至所述N个电阻式加热器和所述温度传感器；以及

将所述控制器编程，以在所述衬底处理系统的操作期间，响应于以下条件，分别控制所述N个区域中的N-1个中的所述N个电阻式加热器中的N-1个中的温度：

在所述N个区域中的所述一个中的所测得的温度；

所述N个电阻式加热器的所述N个电阻；以及

所述N-1个电阻比。

10.根据权利要求9所述的方法，其中所述N-1个电阻比通过以下步骤计算：

当所述衬底支撑件处于均匀温度时，分别确定所述N个电阻式加热器的所述N个电阻；以及

将所述N个区域中的所述N-1个的所述N个电阻中的所述N-1个除以对应于所述N个区域中的所述一个的所述N个电阻中的一个。

11.根据权利要求9所述的方法，其中所述均匀温度对应于环境温度。