[发明专利]面板的制造方法及激光处理装置

权利要求书

1.一种面板的制造方法，包括以下步骤：

(a)于上表面形成有非晶半导体膜的基板上，放置可透射激光的部件的步骤；及

(b)经由所述部件对所述非晶半导体膜照射激光，以形成多晶半导体膜的步骤。

2.根据权利要求1所述的面板的制造方法，其中，所述部件是以玻璃或石英为主要成分。

3.根据权利要求1或2所述的面板的制造方法，其中，将所述部件配置为覆盖所述基板的整个所述上表面。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的面板的制造方法，其中，所述部件与所述基板之间通过静电而固定。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的面板的制造方法，其中，将所述基板配置于可移动的平台上。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的面板的制造方法，其中，所述基板在悬浮于被固定的平台上的同时被搬运。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的面板的制造方法，其中，于所述基板与所述部件之间形成间隙，于所述间隙中填充有惰性气体。

8.根据权利要求7所述的面板的制造方法，其中，所述间隙比所述非晶半导体膜的膜厚还宽。

9.根据权利要求7或8所述的面板的制造方法，其中，惰性气体为氮气。

10.根据权利要求7至9中任一项所述的面板的制造方法，其中，所述惰性气体经过静电处理。

11.根据权利要求1至10中任一项所述的面板的制造方法，其中，所述部件与所述基板具有相同尺寸。

12.根据权利要求11所述的面板的制造方法，其中，所述部件是母玻璃。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的面板的制造方法，其中，所述非晶半导体膜是非晶硅膜，所述多晶半导体膜是多晶硅膜。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的面板的制造方法，其中，实施多次所述(b)步骤。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的面板的制造方法，其中，

面板具有多个像素区域，

于所述多个像素区域的每一个中形成有薄膜晶体管，

所述多晶半导体膜是所述薄膜晶体管的沟道膜。

16.根据权利要求15所述的面板的制造方法，其中，所述面板是电视用的显示面板。

17.根据权利要求15所述的面板的制造方法，其中，所述面板是移动通信装置用的显示面板。

18.一种面板的制造方法，包括以下步骤：

(a)于上表面形成有非晶半导体膜的基板上，形成多个突起部的步骤；

(b)于惰性气体气氛中，将可透过激光的部件，隔着所述多个突起部，放置于形成有所述非晶半导体膜的所述基板上；及

(c)隔着所述部件，对所述非晶半导体膜照射激光，以形成多晶半导体膜的步骤。

19.一种激光处理装置，其包括以下：

激光振荡器，用于照射激光；

搬运台，用于搬运被所述激光所照射的基板；

测量器，其配置于所述搬运台的上方；及

控制部，其可根据从所述测量器所输出的值来控制激光的能量，

于此，于所述基板的上表面上放置可透过所述激光的部件，

所述测量器测量所述激光被所述部件反射的反射光的能量。