[发明专利]液体混合供给装置

权利要求书

1.一种液体混合供给装置(1)，其用于混合具有化学成分的多个原液并将混合的液体供给到指定的工艺，其特征在于，该装置包括：

原液储罐部(200)，其用于分别储存多个原液；

维持恒压的液体供给部(100)，其将由各所述原液储罐部(200)传递的各原液在维持一定压力的状态下选择性地供给到混合装置部(300)；

混合装置部(300)，其用于混合由所述维持恒压的液体供给部(100)供给的多个原液；

混合罐部(400)，其用于储存由所述混合装置部(300)传递的混合液体；

浓度确认部(500)，其用于确认由所述混合罐部(400)传递的液体的浓度；

吐出管道部(600)，其用于吐出满足通过所述浓度确认部(500)预设的浓度的混合液体；

循环管道部(700)，其将未满足通过所述浓度确认部(500)预设的浓度的混合液体重新传递到所述混合罐部(400)；

所述维持恒压的液体供给部(100)上形成有容器(110)、主液体供给手段(120)、第一次加压手段(130)、第二次加压手段(140)、水位传感器(160)以及输出端压力维持手段(170)，

所述容器(110)容纳用于维持一定压力的液体，

所述主液体供给手段(120)与所述容器(110)流体连接且向所述容器(110)供给适当量的用于维持一定压力的液体，

所述第一次加压手段(130)与所述容器(110)流体连接且向所述容器(110)供给用于维持一定恒压的主氮气，

所述第二次加压手段(140)与所述容器(110)流体连接，而且通过附加供给或者排出氮气来微调所述液体的供给压力与所述主氮气的恒定压力的压差，从而使所述容器(110)内的压力维持一定，

所述水位传感器(160)设置于所述容器(110)，而且用于感知所述容器(110)内液体的水位，

所述输出端压力维持手段(170)用于将从所述容器(110)排出的液体的排出压力维持一定；

所述第二次加压手段(140)包括：第三泵(142)，其用于向所述容器(110)内抽送用于微调压力的氮气；氮气供 给用自动阀(144)，其设置于在所述第三泵(142)与所述容器(110)之间延伸的第三导管(141)上；第四泵(148)，其用于排出供给至所述容器(110)内的氮气的一部分；以及氮气排出用自动阀(146)，其设置于在所述第四泵(148)与所述容器(110)之间延伸的第四导管(145)上，

其中，控制装置计算从主液体输入端压力传感器(126)传递的液体的供给压力和在第一次加压手段(130)中形成的从氮气压力传感器(136)传递的主氮气的供给压力，并使第二次加压手段(140)操作从而进一步向容器(110)供给用于微调压力的氮气或者排出容器(110)内的氮气压力，

所述输出端压力维持手段(170)包括：第五泵(172)，其通过抽送将从所述容器(110)排出的液体供给到所需处；累计流量计(173)，其设置于在所述第五泵(172)与所述容器(110)之间延伸的第五导管(171)上；输出端自动阀(174)；调压器(175)；以及输出端压力传感器(176)，

当容器(110)内的液体水位未到达最低水位LL时，控制装置关闭输出端压力维持手段(170)的第五泵(172)及输出端自动阀(174)的操作，并在中断混合腔侧的液体供给的状态下，使液体输入端自动阀继续维持打开状态，从而能继续向容器(110)内供给液体，

如果容器(110)内的液体水位上升至最低水位LL以上，则使输出端自动阀(174)操作并维持打开状态，由此从容器(110)向作为下一作业端的混合腔供给液体。

2.如权利要求1所述的液体混合供给装置(1)，其特征在于，进一步包括防过压排气手段(150)，当在所述容器(110)内感知到异常过压时，从所述容器(110)向外部强制排出氮气。

3.如权利要求1所述的液体混合供给装置(1)，其特征在于，所述主液体供给手段(120)包括：第一泵(122)，其用于向所述容器(110)内抽送用于维持一定压力的液体；主液体输入端自动阀(124)，其设置于在所述第一泵(122)与所述容器(110)之间延伸的第一导管(121)上；以及主液体输入端压力传感器(126)。