[发明专利]处理物体的方法和实施该方法的设备在审
申请号: | 201980048694.7 | 申请日: | 2019-06-03 |
公开(公告)号: | CN112534556A | 公开(公告)日: | 2021-03-19 |
发明(设计)人: | 本尼迪克特·斯特劳布;马库斯·尤赫伦;佛罗瑞安·考滕巴赫;斯蒂芬·亚历克西斯·佩狄亚狄塔基斯 | 申请(专利权)人: | 雷纳技术有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677;B65G47/51;C25F3/12 |
代理公司: | 北京金恒联合知识产权代理事务所 11324 | 代理人: | 李强 |
地址: | 德国古*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 处理 物体 方法 实施 设备 | ||
1.处理物体(2)的方法,其中:
-通过输送设备(5)将待处理的物体(2)输送通过池(3);
-通过设有朝上的出口(13)的至少一个进料装置(9)将处理溶液(4)引入到池(3)中,且具有处理溶液流(24)的形式的处理溶液(4)通过朝上的出口(13)被向上喷出;
-物体(2)在朝上的出口(13)的上方被输送通过池(3),且
-在物体(2)通过池(3)的输送期间,使物体(2)的朝下的表面(23)与处理溶液射流(24)接触。
2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:
所述处理是单面处理,其中物体(2)的朝下的表面(23)被处理溶液(4)所处理。
3.根据权利要求1或2所述的方法,其特征在于:
在物体(2)通过池(3)的输送期间,使物体(2)的朝下的表面(23)的每个点都以这样的方式与处理溶液流(24)相接触,即:在通过池(3)之后物体(2)的朝下的表面(23)的每个点都已经被处理溶液流(24)处理了同样长的时间。
4.如前述权利要求之一所述的方法,其特征在于:
处理溶液流(24)是在已经盛在池(3)中的处理溶液(4)中构造的。
5.如前述权利要求之一所述的方法,其特征在于:
所述至少一个进料装置(9)被构造为管中管系统,该管中管系统具有外管(11)和布置在外管(11)中的内管(12),处理溶液(4)通过内管(12)的朝下的出口(14)被引入外管(11),处理溶液流(24)从外管(11)向上喷到池中(3)。
6.一种用于执行根据前述权利要求中任一项所述的方法的处理设备(1),包括
-池(3),用于盛放处理溶液(4);
-输送设备(5),用于把待处理的物体(2)沿输送方向(6)输送通过池(3);
-至少一个进料装置(9),其被设置在池(3)中,通过该进料装置处理溶液(4)被引入池(3)中;
-该至少一个进料装置(9)具有用于向上喷出处理溶液(4)的朝上的出口(13)。
7.根据权利要求6所述的处理设备(1),其特征在于:
至少一个进料装置(9)至少部分地且优选完全地以与输送方向(6)非平行的方式在池(3)中延伸。
8.根据权利要求6或7所述的处理设备(1),其特征在于:
该至少一个进料装置(9)至少部分地具有笔直的延伸部分(10),该笔直的延伸部分(10)相对于运输方向(6)是斜向的。
9.根据权利要求8所述的处理设备(1),其特征在于:
所述笔直的延伸部分(10)在至少一个进料装置(9)的整个长度(L)上延伸,且借助于至少一个进料装置(9)的朝上的出口(13)来构造以圆锥形变宽的处理溶液流(24),至少一个进料装置(9)的所述笔直的延伸部分(10)相对于输送方向(6)成一个角度α,该角度α至少近似等于α=arcsin((B–2R)/L),其中L是至少一个进料装置(9)的长度,B是所要处理的物体(2)的宽度,R是处理溶液流(24)在输送设备(5)的输送平面(22)高度处的半径。
10.根据权利要求6至9之一所述的处理设备(1),其特征在于:
至少一个进料装置(9)具有多个朝上的出口(13),这些朝上的出口(13)沿着该至少一个进料装置(9)的纵向延伸方向(25)彼此间隔地设置。
11.根据权利要求6至10之一所述的处理设备(1),其特征在于:
至少一个进料装置(9)被构造为管中管系统,该管中管系统具有外管(11)和布置在外管(11)中的内管(12),外管(11)具有用于向上喷出处理溶液(4)的朝上的出口(13),且内管(12)具有朝下的出口(14),通过该朝下的出口(14)处理溶液(4)被引入外管(12)。
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