[发明专利]具有串扰限制装置的多光谱成像传感器在审
| 申请号： | 201980049012.4 | 申请日： | 2019-07-29 |
| 公开（公告）号： | CN112840187A | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | S·笛莎兰德;L·洛克斯;M·休伯特;V·索热 | 申请（专利权）人： | 西利奥斯技术公司 |
| 主分类号： | G01J3/26 | 分类号： | G01J3/26;G01J3/28;H01L27/146;G01J3/02 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 郭思宇 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 限制 装置 光谱 成像 传感器 | ||
1.一种混合多光谱成像传感器，包括：
-背面照射光敏探测器(DET)，所述背面照射光敏探测器在由InP构成的衬底(100)上制成并且由像素(105、P1、P2、P3)的矩阵形成，所述像素本身在基于InGaA的结构(103)中制成；
-滤光模块(MF)，所述滤光模块由再现像素的所述矩阵的基本滤光器(λ1、λ2、λ3)的矩阵形成并且与所述衬底(100)接触；
-由InP构成的所述衬底(100)具有小于50μm，优选地小于30μm的厚度。
2.按照权利要求1所述的传感器，其特征在于所述滤光模块(MF)围绕所述探测器(DET)的周边粘接到所述探测器(DET)。
3.按照权利要求1或2所述的传感器，其特征在于所述滤光模块(MF)具有对准图案。
4.按照上述任一项权利要求所述的传感器，其特征在于所述滤光模块(MF)由通过间隔物(SP)隔开的两个镜(MIR1，MIR2)构成，所述滤光模块包括多个滤光单元(IF11、IF12、…、IF44)，每个滤光单元包含至少两个滤光器(FP1、FP2、FP3)。
5.按照权利要求4所述的传感器，其特征在于所述滤光器(FP1、FP2、FP3)中的至少一个具有带通传递函数。
6.按照权利要求4或5所述的传感器，其特征在于所述滤光单元中的至少一些滤光单元(IF11、IF12、IF13、IF14)在第一条带中对齐。
7.按照权利要求6所述的传感器，其特征在于所述滤光单元中的至少一些滤光单元(IF21-IF24)在平行于第一条带并且与第一条带不相交的第二条带中对齐。
8.按照权利要求4-7中任一项所述的传感器，其特征在于所述滤光器(FP1、FP2、FP3)中的至少两个相邻的滤光器由串扰屏障隔开。
9.按照权利要求4-8中任一项所述的传感器，其特征在于所述滤光器(FP1、FP2、FP3)中的至少一个是全色的。
10.按照上述权利要求中任一项所述的传感器，其特征在于所述探测器(DET)被安装到读取电路(110)上。
11.按照权利要求10所述的传感器，其特征在于利用CMOS技术集成所述读取电路(110)。
12.按照上述权利要求中任一项所述的传感器，其特征在于通过抛光使由InP构成的所述衬底(100)变薄。
13.按照权利要求1-11中任一项所述的传感器，其特征在于通过蚀刻使由InP构成的所述衬底(100)变薄。
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