[发明专利]滤波器组件、检测器和滤波器组件的制造方法在审
申请号: | 201980049116.5 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN112867911A | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 格哈德·艾尔姆施泰纳;德西斯拉娃·奥佩尔;黛博拉·莫尔克罗夫特;延斯·霍弗里希特 | 申请(专利权)人: | AMS有限公司 |
主分类号: | G01J1/04 | 分类号: | G01J1/04;G01J3/12;G01J3/51;G01J3/02;G01T1/20;G02B5/28 |
代理公司: | 北京柏杉松知识产权代理事务所(普通合伙) 11413 | 代理人: | 侯丽英;刘继富 |
地址: | 奥地利普*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 滤波器 组件 检测器 制造 方法 | ||
1.一种滤波器组件,包括入射介质(10)、间隔件(30)、至少一个电介质滤波器(50)和出射介质(70),其中:
-所述间隔件(30)被设置在所述入射介质(10)与所述至少一个电介质滤波器(50)之间,使得所述入射介质(10)和所述至少一个电介质滤波器(50)被间隔开工作距离(32),并由此包围折射率低于所述入射介质(10)的介质,并且
-所述至少一个电介质滤波器(50)被设置在所述出射介质(70)上。
2.根据权利要求1所述的滤波器组件,其中,所述间隔件(30)被设置为限制在改变入射角的情况下入射的光的光谱移位。
3.根据权利要求1或2所述的滤波器组件,其中,
-放置在与所述入射介质相距所述工作距离(32)内的电介质滤波器(50)具有透射特性,
-所述工作距离(32)被设置为使得在改变入射角的情况下,所述电介质滤波器(50)的透射特性的光谱移位保持在给定的限度内。
4.根据权利要求2或3所述的滤波器组件,其中,在小于±30°、±20°、±10°等的间隔的入射角下,所述光谱移位保持恒定或者在±1nm、±2nm、±5nm等内。
5.根据权利要求1至4之一所述的滤波器组件,其中,
-所述入射介质(10)、较低折射率的介质和所述电介质滤波器(50)形成具有平均折射率的混合叠层,
-所述平均折射率取决于所述间隔件(30)和所述工作距离(32),并且
-所述电介质滤波器(50)的光谱特性取决于所述平均折射率。
6.根据权利要求1至5之一所述的滤波器组件,其中,所述入射介质(10)被设置为改变入射辐射,使得经改变的辐射以漫射辐射分布离开所述入射介质。
7.根据权利要求1至6之一所述的滤波器组件,其中,
-所述入射介质(10)、所述间隔件(30)和所述至少一个电介质滤波器(50)包围腔(31),并且
-所述腔(31)包括折射率低于所述入射介质的介质。
8.根据权利要求1至7之一所述的滤波器组件,其中,所述入射介质(10)的折射率大于1。
9.根据权利要求1至8之一所述的滤波器组件,其中,
-所述工作距离(32)的值为0.25μm至10μm,以及/或者
-所述工作距离(32)的值为至少2μm。
10.根据权利要求9所述的滤波器组件,其中,
-所述腔(31)对周围环境是开放的,
-所述腔(31)是开放的、填充有环境空气,并且所述工作距离(32)的值为至少2μm,或者
-所述腔(31)对周围环境是封闭的。
11.根据权利要求1至10之一所述的滤波器组件,其中,所述间隔件(30)设置在所述至少一个电介质滤波器(50)的一个边缘、多个边缘或框架处。
12.根据权利要求1至11之一所述的滤波器组件,其中,所述间隔件(30)包括:
-图案化的粘合剂,
-图案化的光学粘合剂,和/或
-金属层。
13.根据权利要求1至12之一所述的滤波器组件,其中,所述出射介质(70)包括用于电磁辐射的检测器的至少一个有源表面。
14.根据权利要求1至13之一所述的滤波器组件,其中:
-所述至少一个电介质滤波器(50)包括滤波器元件,并且
-所述滤波器元件具有不同的透射特性。
15.根据权利要求14所述的滤波器组件,其中,所述滤波器元件被设置用于双色、多色、明视和/或明视应用。
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