[发明专利]利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法

说明书

本发明涉及一种利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法，本发明的利用图像传感器的表面缺陷检查装置包括：框架部，其提供将被检体沿着与地面平行的长度方向传送的传送路径；传送部，其设置于上述框架部的一侧以将上述被检体沿着上述传送路径传送；图像传感器部，其设置于上述传送路径的中间，以从上述被传送的被检体的上部对被检体的表面进行摄像；照明部，其设置于上述传送路径的中间且包括多个照明灯，该多个照明灯各自沿互不相同的方向对上述被检体的表面中的由上述图像传感器部所摄像的区域即摄像区域照射光；以及控制部，其将上述传送部和图像传感器部的工作控制成一边使上述被检体仅以预定的单位传送距离移动一边对上述被检体的表面进行摄像，从而在每次摄像时摄像区域仅以上述单位传送距离变化，因此能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性。

技术领域

本发明涉及一种利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法，更具体地、所涉及的利用图像传感器的表面缺陷检查装置及检查方法构成为，一边传送被检体一边用图像传感器对被检体的表面进行摄像而获取扫描了被检体的整个表面的扫描影像，且在每次摄像时光照射方向互不相同的多个照明灯中的一个照明灯按照预定的顺序被点亮而向由上述图像传感器所摄像的摄像区域照射光，从而仅凭一次扫描也能够得到针对光照射方向互不相同的多个照明灯各自的上述扫描影像，因此，不仅能够提高具有各种类型、形状、或方向的缺陷的检测准确性，而且能够显著地减少被检体的表面检查所需的时间。

背景技术

一般来讲，在如钢板、PCB基板、半导体晶片、薄膜等那样制成平板形状的产品的情况下，在制造工序结束之后需要经过评价是否存在形成于产品的表面的污染物附着、划痕、印痕、裂纹等缺陷的表面检查工序。

过去，通常是以检查员通过目视或利用显微镜等而直接检查产品的表面的方式执行了上述表面检查工序，但在这种目视检查的情况下，是否为次品是由检查员的通过目视观察的主观判断所确定的，因此，难以确保对于均匀的品质的可靠性，因而存在不能适用于微小的表面缺陷对品质带来致命的影响的二次电池、半导体晶片、PCB基板等的表面检查的问题。

为了解决这种问题，最近开发了一种表面检查装置，该装置采用的方式是，利用对作为被检体的产品的表面照射光的光源和拍摄从产品的表面反射的反射光所形成的图像的图像传感器而判断在产品表面上是否存在缺陷，韩国授权专利第10-0389967号(2002年2月27日公开)中详细地公开了利用这种图像传感器的表面检查装置。

但是，在表面缺陷的情况下，具有通过图像传感器的输出而能够检测出的缺陷的种类、形状、方向随光的照射方向而变化的特性，因此，在如根据下述韩国授权专利第10-0389967号的技术那样适用对检查表面均匀地照射光的方式的情况下，存在难以准确地检测出具有各种类型、形状或方向的表面缺陷的问题。

为了解决这种问题，韩国授权专利第10-0470402号(2002年7月24日公开)中公开了一种在被传送的被检体的左右设置2个光源并一边沿着互不相同的方向照射光一边拍摄图像而提高表面检查的准确性的方式。

但是，在韩国授权专利第10-0470402号的情况下，由于线型光源的配置构造的局限性，对于线扫描型图像传感器的扫描线，仅能从前方和后方这2个方向照射光，因此仍然存在缺点即存在难以将具有各种类型、形状或方向的表面缺陷全部准确地检测出的现有技术的问题。

另外，在下述韩国授权专利第10-0470402号的情况下，由于是使用线扫描型图像传感器的方式，因而不仅扫描速度慢，而且对各个扫描线一边交替地闪烁2个光源一边重复进行扫描，因此，在所述方式上存在检查被检体的整个表面需要过多的时间的问题，在如电动汽车用二次电池那样被检体的面积大且在产品特性上需要进行全面检查的情况下，存在这种问题进一步恶化的缺点。

发明内容

技术问题