[发明专利]氧化物超导线材及其制造方法在审
申请号: | 201980049207.9 | 申请日: | 2019-12-09 |
公开(公告)号: | CN112469668A | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 平田涉;藤田真司 | 申请(专利权)人: | 株式会社藤仓 |
主分类号: | C01G1/00 | 分类号: | C01G1/00;C01G3/02;H01B12/06;H01F6/06;H01B13/00;C23C14/08 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 金世煜;李书慧 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 氧化物 超导 线材 及其 制造 方法 | ||
1.一种氧化物超导线材,是在基板层叠有超导层的氧化物超导线材,
所述超导层具有RE-Ba-Cu-O系氧化物超导体和含有ABO3的人工钉扎,RE表示稀土元素,A表示Ba、Sr或Ca,B表示Hf、Zr或Sn,
在所述超导层的截面TEM图像中,所述人工钉扎相对于所述超导层的厚度方向的倾斜角的标准偏差σ为6.13~11.73°的范围,所述人工钉扎的平均长度为19.84~25.44nm的范围。
2.根据权利要求1所述的氧化物超导线材,其中,所述超导层的与厚度方向垂直的面内的所述人工钉扎的数量密度为1000~3500个/μm2。
3.根据权利要求1或2所述的氧化物超导线材,其中,由X射线强度比算出的所述RE-Ba-Cu-O系氧化物超导体的a轴取向粒的比例为10%以下。
4.根据权利要求1~3中任一项所述的氧化物超导线材,其中,温度30K、磁场2T的临界电流密度Jc为6.0MA/cm2以上。
5.一种氧化物超导线材的制造方法,所述氧化物超导线材在基板层叠有超导层且温度30K、c轴方向的磁场2T的临界电流密度Jc为6.0MA/cm2以上,
所述氧化物超导线材的制造方法具备利用脉冲激光沉积法即PLD法对具有RE-Ba-Cu-O系氧化物超导体和含有ABO3的人工钉扎的所述超导层进行成膜的工序,其中,RE为稀土元素,A表示Ba、Sr或Ca,B表示Hf、Zr或Sn,
所述超导层的沉积速度为23nm/秒以上。
6.根据权利要求5所述的氧化物超导线材的制造方法,其中,所述超导层的沉积速度为36nm/秒以上。
7.根据权利要求6所述的氧化物超导线材的制造方法,其中,所述超导层的沉积速度为36~70nm/秒。
8.根据权利要求7所述的氧化物超导线材的制造方法,其中,超导层的沉积速度为46~70nm/秒。
9.根据权利要求5~8中任一项所述的氧化物超导线材的制造方法,其中,所述超导层的与厚度方向垂直的面内的所述人工钉扎的数量密度为1000~3500个/μm2。
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