[发明专利]真空泵、以及在该真空泵中使用的圆筒部及底座部

权利要求书

1.一种真空泵，在壳体内具备涡轮分子机构，所述壳体具有用来将气体从外部吸入的吸气口和用来将被吸入的所述气体向外部排出的排气口，所述涡轮分子机构具有在轴向上交替地多层排列的旋转叶片及固定叶片，其特征在于，

所述真空泵具备：

多个间隔件，被层积而将所述固定叶片在轴向上定位，呈环状；

所述壳体，至少由圆筒部和被安装于所述圆筒部的下部处的底座部这两个零件构成，所述圆筒部将被层积的所述多个间隔件的外周包围而配置且与所述固定叶片分体；以及

径向定位部，分别设置在所述圆筒部内的上下两个位置，将被层积的所述多个间隔件的至少最上层的间隔件和最下层的间隔件同轴地保持；

所述固定叶片之中的最上层的固定叶片在与所述圆筒部之间空开间隙而被配置，所述最上层的间隔件被设置在所述旋转叶片之中的从最上层数第二层的旋转叶片的外周侧，将所述固定叶片之中的最上层的固定叶片在径向上定位。

2.如权利要求1所述的真空泵，其特征在于，

所述圆筒部的内周面的上侧的径向定位部对应于所述多个间隔件的外周面而设置；

所述圆筒部的内周面的下侧的径向定位部对应于所述底座部的侧面而设置。

3.如权利要求2所述的真空泵，其特征在于，

所述上侧的径向定位部对应于所述最上层的间隔件的外周面而设置。

4.如权利要求1～3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述多个间隔件具备：

径向支承部，被配设在所述固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；以及

间隔件部，与所述旋转叶片的外周侧对置而设置，与被层积的相邻的所述多个间隔件的所述径向支承部的内周面嵌合连结。

5.如权利要求1～3中任一项所述的真空泵，其特征在于，

所述最上层的间隔件具备：

上部径向支承部，被配设在所述最上层的固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；

下部径向支承部，被配设在配设于所述最上层的固定叶片的下侧处的固定叶片的外周面与所述圆筒部的内周面之间；以及

间隔件部，将所述上部径向支承部与所述下部径向支承部连接。

6.如权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于，

所述底座部具备：

圆筒底座部，向所述壳体的轴向上侧延伸，外周面与所述下侧的径向定位部的内表面抵接；以及

水平底座部，从所述圆筒底座部的下部外周朝向外侧以凸边状延伸设置，与所述圆筒部的下表面抵接；

在所述水平底座部与所述圆筒部的下表面之间，配设有将所述底座部与所述圆筒部之间密封的O形环。