[发明专利]静电吸附体

说明书

提供一种静电吸附体，利用电性吸附力，同时特别是对布等绝缘性高的片状的被吸附物可表现出高吸附力。本发明的静电吸附体以静电吸附力吸附被吸附物，其特征在于包括：层叠片，依次层叠有厚度20μm～200μm的绝缘体、厚度1μm～20μm的电极层、及厚度20μm～200μm的树脂膜；以及电源装置，对所述电极层施加电压；至少所述树脂膜的拉伸弹性系数为1MPa以上且未满100MPa，并且其体积电阻率为1×10¹⁰Ω·cm～1×10¹³Ω·cm，且所述电极层包含具有正电极及负电极的双极型电极，通过对所述电极层施加电压所产生的静电吸附力，而将所述树脂膜作为吸附面来吸附被吸附物。

技术领域

本发明涉及一种可利用电性吸附力吸附被吸附物的静电吸附体，详细而言涉及一种对于纸或布等片状的绝缘物也能够吸附的静电吸附体。

背景技术

自从前以来，已报告有几个把持、输送纸或布等片状的被吸附物的手段，特别是报告有自多张堆积的布等一张一张地剥离、把持、输送的手段。例如报告有：使用粘着带作为被吸附物的保持部，同时对其吸附面下功夫(参照专利文献1)；使用在辊的表面具有多根勾挂针的勾挂辊(参照专利文献2)；作为把持部而利用这些粘着带或针或者空气的负压，同时对堆积的布等吹附空气而设法进行剥离的方法(参照专利文献3)。然而，在如专利文献1那样的使用粘着带的方法中，随着粘着力变弱而需要更换，成本变高，另外，存在自粘着带剥离被吸附物时也需要下功夫等问题。另外，在如专利文献2那样的使用针来进行勾挂把持的方法中，有损伤被吸附物之虞而欠佳，进而，在如专利文献3的方法那样在被吸附物的把持或剥离中使用负压或压缩的空气的方法中，除了在被吸附物残留吸附痕的问题以外，也有需要压缩机而使装置大型化等问题。

另一方面，与如上所述的方法不同，特别是作为把持、搬送布等产生空气泄漏的片状的搬送物的方法，报告有使把持部带电而利用其静电力的方法(参照专利文献4)。根据专利文献4，报告有：自并用的带电装置(带电枪)照射电子或离子，使把持部(第一把持片17)或被吸附物(搬送物101)带电的方法；或者利用静电卡盘(chuck)等作为把持部(第一把持片17)。

且说，作为通过电性吸附力而使被吸附物吸附的装置，自从前以来一直使用静电卡盘。静电卡盘适合用于对半导体基板或玻璃基板进行处理时的吸附或保持，通常包括自上下方向分别利用电介质夹入电极的结构，通过根据吸附原理对电极施加电压，可将其中一个电介质的表面作为吸附面而吸附被吸附物，有时具有如下的结构，即，包括加热部件，或者与包括使冷媒流动的管路的金属制基底一体粘接。另外，除了对此种半导体基板等进行处理的静电卡盘以外，本申请的发明人等人也已提出有应用静电卡盘的电性吸附的结构及原理的静电吸附结构体。

例如，专利文献5中提出有一种构造变更的便利性高的静电吸附结构体，其可通过使在两个电介质之间夹入电极的多个片构件层叠，并对电极间施加电压，而将构件彼此吸附固定，并且可使其他吸附面吸附纸或树脂片等展示物或公开物等，在使用后可通过切断电压的施加，而使片构件彼此或被吸附物容易地分离。另外，例如，专利文献6中提出有一种发电装置，将在两个绝缘层之间夹入有吸附电极的静电卡盘的表面作为拆装部件，在其上安装膜状的太阳电池，由此使设置场所的选择性及拆装性优良。这些专利文献5的静电吸附结构体或专利文献6的发电装置使用静电卡盘的吸附原理，拆装性优良，另外虽然薄且在操作性方面下了功夫，但根据本申请的发明人等人的事先研究而发现：在如专利文献5所记载的静电吸附结构体或专利文献6所记载的发电装置那样的至今为止所报告的静电卡盘中，作为介电层(绝缘体)而使用的聚酰亚胺膜或聚对苯二甲酸乙二酯(polyethyleneterephthalate，PET)膜的体积电阻率高达1×10¹⁷Ω·cm左右，推测是利用库仑力(Coulombforce)来吸附被吸附物，因此特别是对于绝缘性高的布，未必可表现出强的吸附力。