[发明专利]石英玻璃坩埚

权利要求书

1.一种石英玻璃坩埚，其由底部、弯曲部及直筒部构成，其特征在于，

具有外层与内层，所述外层由含有气泡的不透明石英玻璃构成，所述内层由透明石英玻璃构成，

所述外层在至少所述直筒部的一部分中由多个层构成，

在所述多个层之中，至少一层是易失透层，以1600℃对所述石英玻璃坩埚加热24小时后，所述易失透层的失透斑点数为50个/cm³以上70个/cm³以下，

在所述多个层之中，在所述石英玻璃坩埚的厚度方向上位于所述易失透层的内侧的层是低失透层，以1600℃对所述石英玻璃坩埚加热24小时后，所述低失透层的失透斑点数为2个/cm³以下。

2.根据权利要求1所述的石英玻璃坩埚，其特征在于，

由所述多个层构成的外层具有中失透层作为所述易失透层和所述低失透层以外的层，以1600℃对所述石英玻璃坩埚加热24小时后，所述中失透层的失透斑点数为超过2个/cm³且10个/cm³以下。

3.根据权利要求1或2所述的石英玻璃坩埚，其特征在于，

在所述外层的所述多个层之中，最外层为所述易失透层。

4.根据权利要求1～3中任一项所述的石英玻璃坩埚，其特征在于，

所述外层由天然石英玻璃构成，所述内层由合成石英玻璃构成。

5.根据权利要求1～4中任一项所述的石英玻璃坩埚，其特征在于，

所述易失透层的厚度为所述石英玻璃坩埚的厚度的5％以上，

所述低失透层的厚度为所述石英玻璃坩埚的厚度的20％以上70％以下。